• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제13권4호
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• pp.294-299
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• 2000

For practical application as a humidity sensor SnO$_2$thick films devices were fabricated on the refresh type electrode by screen printing method and their material and humidity sensing properties were investigated. As a function of Sb$_{2}$/O$_{3}$ addition rate grain size was increased while porosity and initial resistance were rapidly decreased. And the area of resistance variation according to relative humidity was decreased with increasing heat treatment temperature. SnO$_2$thick film device heat treated at 95$0^{\circ}C$ and contained 0.05mole% Sb$_{2}$/O$_{3}$ had a best humidity sensing properties. From this result it is conformed that humidity sensing properties of SnO$_2$thick film devices could be approved by very small amount of Sb$_{2}$/O$_{3}$ addition.

• The Korean Journal of Ecology
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• 제11권1호
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• pp.1-15
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• 1988

Studies on species compostion, promary production of benthic algal assemblage were carried out along a channel of the salt marsh near Inch'on, Kyonggi Bay, Korea. Possible biological, physical and KDICical factors controlling the aglal assemblage were also examined. The oveall diatoms were encountered one hundred and thirty-seven taxa, of which the dominant species were Paralia sulcata and Cymatosira belgica. These two species accounted for 32.6% relative abundance throughout the study period. Diatom taxa had no clear seasonal pattern in abundance analysis. But at the algal blooming period in spring, euglenoids occurred with a high abundance. The chlorophyll a content of benthic algae showed definite seasonal pattern. The algal biomass of the appeared to influence the spatial fluctuation in the algal biomass of the channel was regulated primarily by water content of sediment. Grazing by zoobenthos apperaed to influence the spatial fluctuation in the algal biomass of the sediment surface. The algal photosynthesis was measured in the laboratory with oxygen method. Photo-synthetic rate was independent of the temperature under the lower irradiance. The gross production from March to November was estimated to be 190g C/m2 at the channel slope. Photosynthetic efficiency was 0.37% on the basis of the photosyntherically active radiation for the study period.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제27권9호
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• pp.566-570
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• 2014

Electrode pattern effects on the capacitive humidity sensor were investigated. The fabrication of the capacitive humidity sensor was formed with three steps. The bottom electrode was formed on the silicon substrate with Pt/Ti thin layer by using shadow mask and e-beam evaporator. The photo sensitive polyimide was formed on the bottom electrode by using photolithography process as a humidity sensitive thin film. The upper electrode was formed on the polyimide thin film with Pt/Ti thin layer by using e-beam evaporator and lift-off method. Three electrode patterns, such as circle, square, and triangle pattern, were used and changed the sizes to investigate the effects. The capacitances of the sensors were decreased 622 to 584 pF with the area decreament of patterns 250,000 to $196,250{\mu}m^2$. From these results, a capacitive humidity sensor with photo sensitive polyimide is expected to be applied to a high sensitive humidity sensor.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.343-346
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• 1995

In this paper, the effect of alkaline oxides on the humidity sensitivity of $V_2O_{5}$(2mol%)-doped $TiO_2$(98mol%) was investigated as functions of $Li_{2}Co_{3}$, $Na_{2}Co_{3}$. III-1. Measurement of Density. When the mole% of $Li_2$O is varied 0,1,2,5mol%, the more the mole% of additives is increased, the more difference of bulk and apparent density is largely narrowed. The difference of two densities of sample containing 2mol% $Na_2O$ was large all the moat. The sample containing 1mol% $Na_2O$ was small most. III-2. Observation of porosity. The porosity and total intrusion volume according to various amounts of $Li_2O$ was reduced and those of sample containing 2mol% $Na_2O$ as 31.13%, 0.1155mL/g was the highest and 1mol% $Na_2O$ was lowed most and 5, 10mol% $Na_2O$ was more high compare with sample without alkaline oxides. III-3. Characteristic of humidity sensitivity. 1. Impedance of samples containing $Li_2O$ was high compare with sample without alkaline oxides, so we thought it showed Poor sensitivity because it have no impedance changing rapidly as function of relative humidity. 2. When the humidity was increasing from 30RH% to 90RH%, the impedance of sample containing 2mol% $Na_2O$ at 120HZ changed exponential rapidly from 6${\times}$$10^{7}$$\Omega$) to 1.25${\times}$$10^4$$\Omega$. At under 50RH% and over 50RH%, the humidity sensitivity of samples containing 2mol% $Na_2O$ was best especially in the range of the low humidity. III-4. Characteristic of TG curves. When algal me oxide $M_{2}CO_{3}$(M=Li, Na) were added into $V_{2}O_{5}$-doped $TiO_2$, the stability of humidity sensitivity of samples containing amounts of $Li_2O$ was unstable. The samples containing 1mol% $Na_2O$ was unstable.

• 대한기계학회논문집B
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• 제35권12호
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• pp.1249-1255
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• 2011

최근의 반도체 제조용 대규모 클린룸에서는 도입 외기를 가열가습 및 냉각감습하는 외기공조시스템의 에너지소비량이 클린룸 환경을 유지하기 위해 필요한 전체 공조에너지의 약 45 %를 차지하고 있다. 특히 동기(겨울철)의 경우 외기를 가습하기 위한 에너지소비량은 매우 높다. 따라서 에너지절감을 통한 제조비용 절감 및 온실가스 감축을 위해 외기부하와 관계되는 공조에너지의 사용효율 증대 및 철저한 사용합리화가 요구되고 있다. 따라서 반도체 클린룸용 외기공조시스템의 핵심 가습방식인 증기가습과 수분무가습 방식에 대한 소비전력량을 분석하는 것은 에너지절약적 측면에서 상당히 가치가 있다고 판단된다. 본 연구에서는 전극봉식 가습기에 의한 증기가습방식 및 에어와셔에 의한 수분무가습방식 외기공조시스템들의 공조프로세스 및 소비전력량을 외기량 1000 $m^3$/h의 경우 기흥지역의 동기 및 하기의 피크부하에 대해 비교하는 실험을 수행하였다. 실험결과들로부터 에어와셔 수분무가습 외기공조시스템이 전극봉식 증기가습 외기공조시스템보다 연간 소비전력량이 적어서 에너지절약적임을 보여주었다.

• 전기화학회지
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• 제2권1호
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• pp.17-22
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• 1999

다공질 실리콘을 이용한 마이크로센서와 마이크로액츄에이터의 연구는 현재 초기단계에 있기 때문에, 지금까지 발광 다이오드나 화학 센서 등과 같은 몇몇 응용 소자가 발표된 수준에 머물러 있다. 본 논문에서는 화학 센서와 광소자를 중심으로 다공질 실리콘 센서 및 액추에이터 연구현황을 고찰 보고하고자 한다. 정전용량형 다공질 실리콘 습도센서의 감습 특성은 비선형이였으며, 저습보다는 $40\%RH$ 이상의 고습영역에서 더 높은 감도를 나타내었다. 다공질 실리콘 $n^+-p-n^+$ 소자는 에탄올에 노출되었을 때 소자 전류가 급격히 증가하였다. 다공질 실리콘 다이어프램에 제작된 $p^+-PSi-n^+$ 다이오드는 광 스위칭 현상을 나타내어 광센서 또는 광스위치로써의 응용 가능성을 보여주었다. 다공질 실리콘에 365nm를 조사해서 얻어진 광루미네센스(PL)는 넓은 스펙트럼을 보였으며, 피크 파장은 610 nm이었다. ITO/PSi/In LED의 전계발광(EL)스펙트럼은 PL에 비해 약간 더 넓은 영역에 걸쳐 나타났으며, 피크 에너지가 단파장(535nm)으로 이동하였다.

• 폴리머
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• 제36권4호
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• pp.486-493
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• 2012

칼콘기를 포함하는 광가교성 sulfonated polyimide(SPI) 전해질 고분자를 칼콘기를 가지는 실란 커플링제가 처리된 알루미나 전극에 도포하여 습도센서를 제조하였다. SPI 필름 중 bis(tetramethyl)ammonium 2,2'-benzidinedisulfonate($Me_4N$-BDS)/4,4'-diaminochalcone(DAC)/pyromellitic dianhydride(PA)= 90/10/100 이루어진 습도센서는 20과 95 %RH 영역에서 4.48부터 $2.1k{\Omega}$까지 변화하며 좋은 직선성(Y = -0.04528X+7.69446, $R^2=0.99675$)을 보여주었다. 33 %RH와 94 %RH 사이에서 흡습과 제습과정의 응답속도는 약 79초이며, 가교화된 SPI 필름은 습도를 빠르게 검지할 수 있는 매우 효율적인 감습재료이다. 온도 의존성 계수는 $-0.49%RH/^{\circ}C$이며 습도센서로서 응용시 온도 보상이 필요하다. 또한 센서의 기재를 칼콘을 포함하는 실란 커플링제로 처리한 센서는 가교와 동시에 기재에 접합되어 480시간 이상 내수성, 고온과 고습 안정성 및 장기 안정성이 뛰어남을 알 수 있었다. 이렇게 가교화된 SPI는 상용화된 센서보다 우수한 특성을 보이는 재료로서 응용 가능성을 보여주었다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제20권2호
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• pp.732-740
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• 2019

가습 소자를 이용한 증발식 가습은 건물이나 데이터 센터의 공조에 널리 사용되고 있다. 가습 소자의 성능은 가습 효율로 나타내는데 이 효율은 공기의 온습도나 물 온도에 무관하게 사용되고 있다. 본 연구에서는 데이터 센터와 건물 공조의 두 공기 조건에 대하여 셀룰로오스/PET, Glasdek의 두 소자를 사용하여 전벙 풍속과 물 온도를 변화시키며 일련의 실험을 수행하였다. 실험 결과 측정된 가습 효율은 공기 조건과 물 온도에 따라 다르게 나타났다. 심지어 건물 조건에서는 소자의 입구부에서 감습이 나타나기도 하였는데 그 이유는 공급수 온도가 입구 공기의 노점온도보다 낮았기 때문이었다. 건물 조건에서는 공급수 온도와 공기의 노점 온도 차이가 증가할수록 가습 효율은 감소하였다. 이로부터 가습 효율 모델을 적절히 세우려면 길이 방향으로 수분 전달량이 변화하는 입구 영역에 대한 해석이 중요하다고 판단된다. 셀룰로오스/PET 소자에 대하여 성능 해석을 수행한 결과 Sherwood 수는 적절히 예측하였으나 마찰 손실은 과대 예측하였다. 이는 해석시 채널 형상을 단순한 삼각형으로 가정하고 소자 표면에 형성된 액막의 영향을 무시한 때문으로 판단된다.