우리나라의 주요 수도 신품종 및 도입 품종을 공시하여 출수생태에 대한 기초자료를 얻고자 일장을 10, 12, 14 및 16시간의 4수준으로 하여 기본영양생장성과 감광성을 검토하였던 바 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 출수일수는 일장이 10, 12, 14 및 16시간으로 길어짐에 따라 지연되었는데 그 정도는 14 및 16시간에서 더욱 뚜렷하였다. 2. 일장에 따른 각 품종의 출수일수를 기초로 하여 일장반응형을 분류하면 7개의 group으로 구분할 수 있었는데, I-IV group은 대부분 일본형 품종이고, V-Ⅶ group은 모두 통일형 품종이었다. 3. 일본형 품종은 기본영양생장성이 짧고 감광성이 예민하였으며 통일형 품종은 기본영양생장성이 길고 감광성이 순한 경향이었다. 4. 일본형의 육성품종과 도입품종간에는 감광성과 기본영양생장성의 유의차는 없었다. 5. 조ㆍ중ㆍ만생종의 기본영양생장성과 감광성의 정도는 조생종의 경우 기본영양생장성 정도에서 일본형이 짧고 통일형은 뚜렷이 길었으며 감광성 정도는 일본형 및 통일형 품종 공히 순한 경향이었다. 한편 중ㆍ만생종의 경우 기본영양생장성 정도는 조생종과 비슷하였으나 감광성 정도는 일본형이 예민하고 통일형 품종이 순하였다. 6. 기본영양생장성과 감광성의 고저에 따른 각 품종들의 출수생태형은 19개 생태형으로 구분되었다. 7. 생태형중 대부부의 일본형 품종은 I-V, I-Ⅵ, II-IV, II-V 및 II-Ⅵ에, 통일형 품종은 Ⅵ-II, IV-III, V-II, V-III, Ⅵ-I, Ⅵ-II 및 Ⅶ-I에 속하였다.
본 연구는 가시부 전영역에 감광하는 전자사진용 감광체를 만들기 위하여 400nm부근에 흡수파장을 갖는 sunfast yellow와 700nm부근에 흡수파장을 갖는 $\alpha$,$\beta$-copperphthalocyanine의 색소를 산화아연(ZnO)에 흡착분산시켰다. 각종 결합제(Binder)의 감도와 , 산화아연과 결합제와의 조성비에 따르는 변화실험의 결과 5.5:1에서 가장 좋은 결과를 나타냈다. 전자사진 감광체의 적합성을 확인하기 위하여 정전특성과 분광감도를 측정해 본 결과 sunfast yellow와 $\beta$-copper phthalocyanine을 혼합사용한 것이 가장 좋은 감도를 나타냈으며, 이 때 측정된 전자시진감도는 $E_{1:2}$=1440 luxㆍsec이었다. 또한 분광감도 측정결과는 가시부전역에 걸쳐 감도를 감광체임을 확인하였다.
We have developed an image reversal photoresist with high thermal stability and electric insulating properties for the single isolation structure of OLEDs. The thermal stability and electric insulating properties are investigated and compared with those of conventional insulator and cathode separator materials. The single isolation structure using the image reversal photoresist reduces the fabrication process steps and cuts down the manufacturing cost.
Plasma etching of photoresist needs high etch rate, good uniformity and rae, good uniformity and low damage in low cost. ICP asher is expected to satisfy these requriement for next eneration semiconductor devices. ICPsimulator has been used to design the ashing chamber to redcue the development time and cost, and its results have been verified by QMS, OES and langmuir probe measurments. Plasma characteristics are monitored in terms of RF power and chamber pressure.
Photoresist로의 응용을 위하여 감광성 관능기를 가진 폴리머인 polyresorcinol-formaldehyde glycidyl ether의 cinnamoyl ester(RGEFC)를 제조하였다. RGEFC의 감광 특성은 노광 전후의 유기용매에 대한 용해도 차이로서 결정하였는데, 유리판상에 도포한 각종 시료를 제반조건하에서 노광한 다음, 도포시에 사용한 같은 용매에 담그어 잔막수득량을 계산하였다. 필름의 감도와 밀접한 관계를 가지는 수득량은 수지의 중합도, 증감제의 종류 및 첨가농도에 따라 좌우되었으며, 그 감도는 폴리머의 중합도에 의존되어 중합도가 커질수록 증가되었다. 사용된 증감제 중 RGEFC에 대한 가장 효과적인 증감제는 2, 6-dichloro-4-nitroaniline이었다.
본 실험에서는 축전결합형 고주파 플라즈마와 $BCl_3$와 He의 혼합가스를 이용하여 화합물 반도체인 GaAs와 AlGaAs의 건식식각에 대해 연구하였다. 공정변수로는 첫째, BCl3와 He의 혼합가스 비율을 0%에서 100%까지 변화시켰다. 둘째, 고주파 파워를 50 W에서 200W 까지 변화를 주었고, 셋째, 공정압력을 120 mTorr~300 mTorr 까지 변화시켰다. 식각 실험을 마친 시료는 표면 단차 측정기와, 주사전자현미경을 이용하여 식각률과 선택비, 표면거칠기, 표면형상에 대하여 분석을 진행하였다. 또한, 광학발광분석계 (OES)를 이용하여 건식식각 실험 중 혼합가스에 의해 발생하는 플라즈마의 발광특성에 대한 실시간 분석을 하였다. 결과에 따르면, 1) 혼합가스에서 He의 비율이 20%일 때 GaAs와 AlGaAs 시료의 식각율이 $0.7\;{\mu}m/min$ 와 $0.6\;{\mu}m/min$ 로 가장 높게 나타났다. 2) 감광제에 대한 시료의 선택비 또한 동일 조건에서 GaAs의 경우 1 : 12, AlGaAs의 경우 1:8로 가장 높게 나타났다. 3)고주파 파워의 변화에 따른 식각률의 경우 100 W에서 GaAs 의 경우 $0.6\;{\mu}m/min$, AlGaAs의 경우 $0.5\;{\mu}m/min$ 이었고, 고주파 파워가 증가할수록 식각률은 감소하였다. 4) 감광제에 대한 시료의 식각 선택비의 경우 50 W에서 GaAs 시료가 1:14, AlGaAs 시료가 1:10으로 가장 높은 선택비를 보였고 고주파 전원이 증가할수록 선형적으로 감소하였다. 5) 표면거칠기는 50~100 W 구간에서는 1.0~1.5 nm 으로 큰 증가폭이 없다가 150 W 이상에서는 3.0~5.0 nm 으로 증가하였다. 반응기의 압력이 120 mTorr에서 300 mTorr로 변화할 때 식각률과 선택비는 비교적 선형적으로 감소하였으며, 표면거칠기 또한 증가하였다. 결론적으로 $BCl_3/He$ 고주파 플라즈마에서 약 20%의 He을 포함하고 있을 때 가장 우수한 건식 식각 결과를 얻었다.
물리화학적 특성이 상이한 4종의 토양을 이용하여 제초제 imazapyr의 미생물에 의한 분해, 감광제에 의한 광분해 촉진 및 bioceramic 첨가에 의한 분해 촉진 시험을 수행하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 토양 A와 active sludge로부터 분리한 7종의 미생물을 접종한 순수배양에서 뚜렷한 대사산물을 얻지 못했다. 또한 6종의 기지 미생물을 이용한 14일간의 배양실험에서 역시 대사산물을 얻지 못했다. 이 결과는 수중에서 imazapyr가 미생물에 의해서는 거의 분해가 되지 않음을 시사해 준다. Imazapyr를 처리하여 배양한 토양중 그 분해산물로는 imidazolinone ring의 개열에 의해 형성된 m/z 279의 2-[(1-carbamoyl-1,2-dimethylpropyl)carbamoyl]nicotinic acid를 얻었다. 또한 자연광하에서 행한 광분해 시험에서 감광제의 종류에 따라 분해율에 많은 차이를 보였다. 무처리의 경우에는 14.6%의 분해율을 보인 반면 PS-1의 100ppm과 200ppm에서 각각 66.0과 76.5%로 농도가 높을수록 높은 분해율을 보였고, PS-2와 PS-3에서 각각 26.7과 90.0%의 분해율을 보였다. Aromatic ketone계 감광제인 PS-2는 무처리와 큰 차이를 보이지 않았다. PS-1을 첨가한 광분해 시료에서 m/z 149의 광분해 산물을 검출하였으며, 그 생성경로는 imidazolinone환이 개열된 후 가수분해되어 2-carbamoyl-nicotinic acid ${\rightarrow}$ 2,3-pyridinedicarboxylic acid ${\rightarrow}$ 2,3-pyridine-dicarboxylic anhydride(m/z 149)로 추정되었다. 토양 C와 D에 $[^{14}C]$imazapyr를 처리하고 bioceramic을 첨가하였을 때 발생된 $^{14}CO_2$의 방사능은 각각 총 처리방사능의 2.03%와 1.12%인 반면 bioceramic을 처리하지 않은 구에서는 각각 1.88%와 0.82%로써 유의성 있는 차이는 보이지 않았으나 5주 이후에는 $^{14}CO_2$의 양이 점점 증가했다.
후지필름(주)이 지난 4월 새로 내 놓은 필름 뉴 수퍼리아 시리즈 기술의 핵심은 '제4감광층 기술(일명 뉴 리얼라 기술)'이다. 이것은 인간의 눈을 통해 본 것이 뇌에 도달하는 과정 중에 일어나는 변화를 필름에 도입하기 위해 억제와 색소 보정이라는 발상을 도입한 특허 기술이다. 이 기술을 채용한 필름은 기존 필름에 비해서 그린을 억제해서 옐로우가 보다 충실하게 재현된다.
$H^{+}$ 이온에 선택적으로 감응하는 field effect transistor(pH-ISFET)를 바탕소자로 하고, 그 gate 주위에 Ag/AgCl 기준전극을 형성한 다음, 이를 둘러싼 수화젤(hydrogel)막 및 기체투과막의 이중막 구조를 가진 용존이산화탄소($CO_{2(aq)}$) 센서소자를 사진식각(photolithography)법으로 제작하였다. PVA-SbQ 혹은 PVP-PVAc/감광제 형의 광가교형 감광액은 수화젤막 형성에 적합하지 않았으나, 2-hydroxyethyl methacrylate(HEMA) 및 acrylamide를 포함하는 광중합형 감광액을 사용할 경우에는 사진식각법에 의한 수화젤막이 좋은 해상도로 얻어졌다. 기체투과막은 urethane acrylate계 UV-oligomer를 주성분으로 한 감광액을 써서 사진식각법으로 수화젤막위에 형성할 수 있었다. 또한 수화젤막 및 기체투과막을 사진식각법으로 형성할 때 N,N,N',N'-tetramethyl ethplenediamine(TED) 을 $O_{2}$ quencher로서 감광액 중에 도입함으로써 UV 노광시에 polyester film을 부착하는 번거로운 공정을 생략할 수 있음을 알았다. 이렇게 제조된 $pCO_{2}$ 센서는 수용액 중에서 $10^{-3}{\sim}10^{0}\;mol/{\ell}$의 $CO_{2}$ 농도변화에 대하여 직선적인 검정곡선(calibration curve)을 얻을 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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