A new microfabrication method of photosensitive glass and the microstructure by this method

새로운 방식의 감광성그라스 구조물 형성방법 및 이것을 이용한 미세구조물의 제조

  • 조수제 (LG전자 디스플레이 연구소) ;
  • 류병길 (LG전자 디스플레이 연구소) ;
  • 안동훈 (LG전자 디스플레이 연구소)
  • Published : 1999.05.01