• 한국광학회지
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• 제9권5호
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• pp.326-332
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• 1998

층상평행판의 접착불량을 홀로그래피 간섭법을 이용하여 가시화함으로써 내부결함을 비파괴 탐상하였다. PZT로 측정 대상을 진동시키면서 실시간 홀로그래피 방법으로 접착불량의 특징이 간섭 무늬에 이상무늬로 나타나는 특성주파수를 찾고, PZT의 위치를 변화시키며 시간평균법으로 홀로그램을 구하였다. 재생된 상에서 결함 부분을 영상처리한 후 이들을 합성하여 층상평행판의 전체 면적에 걸친 내부결함 분포를 구하였다.

• 대한기계학회논문집
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• 제10권3호
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• pp.285-291
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• 1986

본 연구에서는 평면스피이커의 진동판의 진동을 이론적으로 해석하고 시간 평균 홀러그래픽 간섭계로 조사하여, 지지대의 지지위치 선정과 피스톤 진동 모우드를 넓히는 방법을 제시하고, 비틀림이 적은 진동판을 설계하는 방법을 제시하여 평면스피 이커의 성능을 항상시키는 데 있다.

• 소음진동
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• 제9권3호
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• pp.509-516
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• 1999

The ESPI (Electronic Speckle Pattern Interferometry) algorithm has been simulated to calculate vibrational modes of a thin right-angled STS304 plate. The phase transformation of the reference wave of the ESPI is carried out only one time during vibration in order to clarify ESPI speckle patterns. Two dimensional vibrational modes are calculated from one ESPI pattern before vibration onset and two ESPI patterns during vibrations but with and without the phase transformation. The ESPI harmonic results are compared with those derived from the finite element method (FEM), and they agree very well. Additionally a phase unwrapping algorithm has been newly developed to derive a displacement map from an ESPI phase map.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제38권2호
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• pp.122-127
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• 2001

간섭계를 이용하는 작업에서 가장 중요한 요구사항은 간섭 필드의 안정성을 높게 유지하는 것이며 이는 안정된 간섭패턴을 이용한 측정에 있어서 정밀성을 확보해 준다. 그러나 진동과 같은 위상잡음에 의해 안정성을 유지하기 힘들다. 본 논문에서는 BaTiO₃의 SPPCM 특성을 이용하여 마흐젠더 간섭계와 같은 전통적인 간섭계 측정시 발생 가능한 위상잡음의 영향을 줄여 안정된 간섭 패턴 확보 방법을 제안하였다. 또한 BaTiO₃로 빛을 입사시킬 때 구형렌즈를 기울여 입사빔을 원형이 아닌 타원형으로 입사시켜 원형 입사의 경우에 비해 SPPCM의 응답시간과 반사율을 개선하였다. 그리고 실험을 통해 결과를 확인하였다.

• 한국광학회지
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• 제13권4호
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• pp.308-313
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• 2002

매개하향변환과정에서 동시에 발생한 서로 다른 진동수의 광자쌍을 이용한 4차 간섭실험에서 비고전적인 맥놀이 효과를 측정하였다. 각진동수가 각각 $\omega1$과 $\omega2$인 광자쌍을 빔분할기에서 중첩시키고, 빔분할기의 두 출구에 놓인 두 검출기로 동시계수 할 때, 두 광자가 빔분할기에 도달하는 시간 간격에 따라 cos($\omega1$-$\omega2$)의 함수로 동시계수의 변화를 나타내었다. 두 광자의 파장 차이가 41㎚일 때 측정된 맥놀이 진동수 ($\omega1$-$\omega2$)/2$\pi$는 0.29${\times}10^{14}$㎐이었고, 진동수 차이에 해당하는 두 광자의 시간간격은 34.82fs로 측정되었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.69-70
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• 2009

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.755-756
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• 2007

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2002년도 제13회 정기총회 및 2002년도 동계학술발표회
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• pp.286-287
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• 2002

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.141.2-141.2
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• 2014

크라이오 펌프는 반도체 임플란타 공정, OLED 분야, 신소재 개발, 표면분석 및 처리, 의료분야, 입자가속기, 핵융합 등 다양한 진공분야에 응용되는 고진공용 극저온펌프이다. 특히 향후 디스플레이 분야에서 OLED가 시장을 주도할 것으로 예상되는 가운데, 점점 대형화 되어가는 OLED 장비에 가장 적합한 고진공 펌프로써 크라이오 펌프가 주목을 받고 있다. OLED 디스플레이 제조공정 중에서도 화소형성 공정을 위한 챔버는 특별히 진동특성에 민감하다. 유기물 증착공정을 진행하기 위해서 글라스 전단에 쉐도우 마스크를 설치하는데, 글라스의 크기가 증가하면서 초래된 처짐문제 그리고 장비의 진동특성과 글라스와 마스크 사이의 간섭문제 등이 제품의 수율에 큰 영향을 미치면서 향수 시급히 해결해야 할 필수 과제로 주목 받고 있다. 그러나 대부분의 상용 크리이오 펌프는 G-M형식의 냉동기를 장착하기 때문에 그 원리 상 제조사에 관계없이 일반적으로 큰 진동특성을 가진다. 이에 GVT에서는 OLED 공정에 적합한 보다 정숙하고 진동특성이 개선된 550 mm구경의 크라이오 펌프 개발을 진행하였다. 그 결과 펌프의 성능은 동종 경쟁모델과 동등 이상의 수준을 유지하고 진동성분은 동종모델 대비 50%이상 개선된 펌프를 개발할 수 있었다. 그리고 시장에 보다 좋은 제품을 출시하기 위해서 현재 성능과 진동특성을 계속해서 튜닝 중에 있다. 진동개선은 크게 2가지 방향으로 진행되었는데, 첫째는 펌프 측면에서 진행한 것이고 둘째는 냉동기 측면에서 진행한 것이다. 후자는 현재 대외비로 개발을 진행 중에 있으며 본 발표에서는 전자에 관한 것으로 펌프 측면에서 진동특성을 개선한 부분이다. 결국 크라이오 펌프의 진동은 진동원인 냉동기에서 발생하는 것이므로 냉동기와 펌프를 구조적으로 고립시키는 방법을 사용하였다. 즉, 냉동기와 펌프 사이에 댐핑 시스템 플랜지를 장착하여 진동원인 냉동기로부터 진동성분이 펌프 측으로 전달되는 것을 차단한 것이 본 기술의 핵심이다. GVT에서는 당 기술로 국내특허등록을 완료하였다(특허-10-1289394_진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오 펌프).

• 비파괴검사학회지
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• 제21권6호
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• pp.630-633
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• 2001

본 연구에서는 국내에서 생산되는 에어콘용 팬의 진동해석을 위해 ESPI를 이용하였다. 기존의 진동해석 실험으로 많이 사용되는 가속도계를 에어콘용 팬에 직접 적용하는 데에는 형상의 제약 등으로 적용이 어려워 비접촉 진동해석기술을 요구하였다. 실험은 가진 장치를 이용하여 팬에 가진을 하고 ESPI를 이용하여 진동모드 및 고유주파수, 고유주파수의 범위를 검사하였다. 또한, 실험결과는 유한요소 해석과 비교되었으며, 실험결과로부터 실제 팬의 사용 회전수에서 제품의 신뢰성을 평가하였다 본 연구에서 사용된 ESPI는 품질개선을 위한 재질변화 또는 형상변화 시 설계측면에서 효과적인 설계정보를 제공할 수 있으며, 기존의 진동해석 기술의 단점을 보완할 수 있으리라 사료된다.