ECR-PECVD로 증착한 a-Si : H/Si으로 부터의 가시 PHotoluminescence (Visible Photoluminescence from Hydrogenated Amorphous Silicon Substrates by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
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- 한국재료학회지
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- 제8권4호
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- pp.359-361
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- 1998