Sputtering 압력에 따른 (Ba,Sr)TiO$_3$ [BST] 박막의 구조 및 전기적 특성
(Microstructure Electrical Prperties of (Ba, Sr)TiO$_3$ [BST] Thin Films with Sputtering Pressure)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1998년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.379-382
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- 1998