자장강화된 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba, Sr) $TiO_3$ 박막의 식각 특성 연구
(The Etching Characteristics of (Ba, Sr) $TiO_3$ Thin Films Using Magnetically Enhanced Inductively Coupled Plasma)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권12호
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- pp.996-1002
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- 2000