• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.08a
• /
• pp.15-15
• /
• 2010

고진공영역에 사용되는 터보분자펌프, 이온펌프, 크라이오펌프 등의 특성평가 장치의 신뢰성을 확보하기 위해서는 신뢰성이 검증된 이온게이지를 이용한 고진공 측정기술이 확보되어야한다. 본 발표에서는 고진공펌프 특성평가를 위한 유량계와 평가기술에 대한 국제적인 동등성을 확립하고 검증하기 위해 한국표준과학연구원에서 수행해오고 있는 고진공 및 초고진공분야의 국제비교 및 ISO/TC 112 위원회 활동에 대해 소개한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.08a
• /
• pp.95-95
• /
• 2011

고진공영역에 사용되는 터보분자펌프, 이온펌프, 크라이오펌프 등의 특성평가 장치의 신뢰성을 확보하기 위해서는 신뢰성이 검증된 미세 유량발생 장치를 포함한 이온게이지를 이용한 고진공 측정기술이 확보되어야한다. 본 발표에서는 고진공펌프 특성평가를 위한 미세 기체유량계와 펌프 평가기술에 대한 국제적인 동등성을 확립하고 검증하기 위해 수행해오고 있는 진공 분야의 국제비교 및 ISO/TC 112 위원회 활동에 대해 소개한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2000.02a
• /
• pp.30-30
• /
• 2000

당사는 각종 진공 장비를 개발/제작한 경험을 바탕으로 25년 동안 진공 산업 발전에 기여하여 왔으며 자체 기술로 HIGH VACUUM 응용시스템 설계 및 제작하고 있다. 이와 함께 3D CAD를 이용한 consulting 및 Modeling 분석을 수행하여, 자체 기술로 설계 및 제작 판매하고 있다. Vacuum System은 In-line System (ITO, SiO2, Cr Tio2, Ag, Al 등), Roll to Roll(Web) Sputtering system (ITO, SiO2, Ar, Metal 등), 유기 EL 박막 진공 증착 장치, PECVD System, Evaporator 시스템 등을 제작 공급하고 있다. 현재 Roll to Roll(Web) Sputtering System은 Dual Cathode를 사용하는 방식으로 개발중에 있으며, 평판 디스플레이용 대면적 Glass를 위한 In-line Sputtering System을 같이 개발하고 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.08a
• /
• pp.307.1-307.1
• /
• 2013

고진공 상태의 희박한 농도를 가진 분자들은 불연속체의 특징을 가지게 되며, 일반적인 연속체 시뮬레이션으로 물리적 현상을 예측할 수 없었다. 이에 불연속체 시뮬레이션이 가능하도록 분자동역학을 기반으로 한 해석기술을 구축하기 위한 연구를 진행하였다. 아울러 태양전지 고진공 증발증착 공정의 실험결과와 비교하여 시뮬레이션의 적합성을 확인하고 변수의 영향도를 검토하였다. 향후 다양한 변수에 따른 시뮬레이션이 진행되어야 하며, 불연속체와 관련된 솔루션을 제공할 수 있는 데이터와 노하우의 축적 및 해석기술 표준화가 진행되어야 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.08a
• /
• pp.95-95
• /
• 2012

우성 진공(크라이오 펌프), 제일 진공(터보 펌프)의 개발 시제품을 나노종합 팹센터(크라이오 펌프는 Sputter 장비, 터보 펌프는 Etcher 장비에 부착)에서 공정 신뢰성 Test 실시함.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2006.02a
• /
• pp.42-42
• /
• 2006

• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.3 no.4
• /
• pp.401-404
• /
• 1994

초고 진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세가지 형태의 60(l/s) 형이온 펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta 선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
• /
• 1996.05d
• /
• pp.419-424
• /
• 1996

KT-2 토카막 진공용기의 투자율이 $\mu$ο 보다 큰값을 갖게 될때 플라즈마에 미치는 영향을 평가하였다. 이를 위해 POISSON 코드를 이용해 null point 위치변화, 최외곽밀폐자기면의 변화, 진공용기 내부의 자장변화 등을 계산하였다. 진공용기의 투자율 변화의 최대 허용치를 1.15$\mu$o 라 정할때 플라즈마가 받는 영향은 무시할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2000.02a
• /
• pp.51-51
• /
• 2000

한국진공연구조합의 회원으로 등록 활동하고 있는 당사는 각종 반도체 공정에서 화학적으로 인정하고 불활성인 이태리 AUSIMONT사의 FOMBLIN oil, 진공 그리이스, 환경 친화적인 불소계 용제(FOMBLIN PFS-1), PTFE sheet와 gasket(Italy GUARNIFLON), 비석면 재질로서 내마모성 및 내구성이 뛰어난 로타리 베인 펌프용 vane을 공급하고 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2006.08a
• /
• pp.37-37
• /
• 2006