Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2006.08a
- /
- Pages.37-37
- /
- 2006
진공 핵심 부품 소재의 특성평가 및 진공공정 진단 기술
- Sin Yong-Hyeon ;
- Seong Dae-Jin ;
- Hong Seung-Su ;
- Kim Jeong-Hyeong ;
- Yun Ju-Yeong ;
- Gang Sang-U ;
- Im In-Tae ;
- Jeong Gwang-Hwa
- 신용현 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 성대진 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 홍승수 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 김정형 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 임인태 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 전략기술연구부 진공기술연구랩)
- Published : 2006.08.01
Abstract
Keywords