• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제48권2호
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• pp.92-97
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• 1999

The mechanical and electrical properties of the hot-pressed and annealed $\beta-Sic$+39vol.%$ZrB_2$ electroconductive ceramic composites were investigated as a function of the liquid forming additives of $Al_2O_3+Y_2O_3(6:4wt%)$. In this microstructures, no reactions and elongated $\alpha$-SiC grains with equiaxed $ZrB_2$, gains were observed between $\beta-SiC$ and $ZrB_2$, and the relative density was over 97.6% of the theoretical density. Phase analysis of the composites by XRD revealedmostly of $\alpha$-SiC(6H, 4H), $ZrB_2$, and weakly $\beta-SiC$(15R) phase. The fracture toughness decreased with increasing $Al_2O_3+Y_2O_3$ contents and showed the highest of $6.37MPa.m^{\fraction ane-half}$ for composite added with 4wt% $Al_2O_3+Y_2O_3$ additives at room temperature. The electrical resistivity increased with increasing $Al_2O_3+Y_2O_3$contents and showed the lowest of $1.51\times10^{-4}\Omega.cm$ for composite added with $Al_2O_3+Y_2O_3$ additives at $25^{\circ}C$. This reason is the increasing tendency of pore formation according to amount of liquid forming additives $Al_2O_3+Y_2O_3$. The electrical resistivity of the composites was all positive temperature coefficient resistance(PTCR) against temperature up to $700^{\circ}C$.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제9권1호
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• pp.47-52
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• 2008

소자가 점점 고집적화 됨에 따라, MOS 소자 제조에 있어서 $SiO_2$의 두께가 ${\sim}1nm$로 낮아질 경우 발생하는 터널링전류와 문틱전압 천이를 방지할 수 있는 새로운 게이트용 유전물질을 개발하여 소자의 크기를 줄이는데 주력하고 있다. 본 실험에서는 원자층증착(ALD: atomic layer deposition) 방법으로 증착된 $ZrO_2$ 박막의 물리적, 전기적 특성에 대하여 연구하였다. ALD $ZrO_2$ 박막을 증착한 후 Ar 가스 분위기에서 $800^{\circ}C$, 1 시간동안 열처리한 다음 XRD, TEM, 그리고 C-V plots을 이용하여 $Pt/ZrO_2/Si$ 소자의 형태, 결정화 동역학, 그리고 경계층 특성을 평가한 결과 열처리에 의해 소자의 특성이 크게 향상됨을 알 수 있었다.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2001년도 추계학술대회(한국공작기계학회)
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• pp.355-359
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• 2001

In this study, experiments were carried out to investigate the characteristics of grinding and wear process of diamond wheel grinding ceramic materials. Normal component of grinding resistance of $AI_2O_3$ was less then that of $Si_3N_4$ and $ZrO_2$. It is because the resistance for grain shedding is less then that for layer formation. For the case of $Si_3N_4$ and $ZrO_2$, as the grain mesh number of wheel increases, the surface roughness decreases. For the case of $AI_2O_3$, the surface roughness does not decreases. For the case of $Si_3N_4$ and $ZrO_2$, grinding is carried out by abrasive wear processes. For the case of $AI_2O_3$, grinding is carried out by grain shedding process.

• 한국세라믹학회지
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• 제31권8호
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• pp.934-940
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• 1994

Fibers of ZrO2-SiO2 system were prepared from the hydrolysis and condensation of Si(OC2H5)4 and Zr(OnC3H7)4 with different H2O/alkoxide molar ratios. It was found that fibers could be drawn in the viscosity range of 1~100 poise from HCl catalyzed solutions with lower water contents of the mole ratio H2O/alkoxide, r 2. The fibrous gels were converted into the corresponding oxide glass fibers by heating at 80$0^{\circ}C$. Mechanical test was performed on E, A and 20ZrO2-80SiO2 glass fibers reinforced cement in order to investigate the flexural strength. The flexural strength value of 20ZrO2-80SiO2 glass fibers reinforced cement was greater than those of E and A. The chemical durability of the fibers in alkaline solutions increased with ZrO2 content. The weight loss due to the corrosion by 2N-NaOH solutions at $25^{\circ}C$ for 160 hours was about 0.31$\times$10-2 mg/dm2 for the 20ZrO2-80SiO2 glass fibers, which was superior to that of Vycor glass.

• 한국세라믹학회지
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• 제36권10호
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• pp.1080-1086
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• 1999

Mullite/zirconia composite was synthesized by adding zirconia and Zircon to mixture of Hapcheon kaolin(grade pink A) and aluminium nitrate salt in order to enhance strength of the mullite specimens. Kaolin and aluminium nitrate salt was mixed milled and calcined at 100$0^{\circ}C$ and then 5wt% mullite seed was added to increase mullite content. The influence of the additives(ZrO2 and ZrSiO4) and sintering temperature on the strength of the sintered specimens was investigated. The flexural strength of the specimens containing 10wt% zirconia was enhanced from 150MPa without the additive up to 300MPa after heat treatment at 156$0^{\circ}C$ In the case of addition of 15wt% zircon the strength of the specimens systhesized at 1$600^{\circ}C$ was 225 MPa.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.155-155
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• 2012

기존의 플로팅 타입의 비휘발성 메모리 소자는 스케일 법칙에 따른 인접 셀 간의 간섭현상과 높은 동작 전압에 의한 누설전류가 증가하는 문제가 발생을 하게 된다. 이를 해결하고자 SONOS (Si/SiO2/Si3N4/SiO2/Si) 구조를 가지는 전하트랩 타입의 비휘발성 메모리 소자가 제안되었다. 하지만 터널링 베리어의 두께에 따라서 쓰기/지우기 특성은 향상이 되지만 전하 보존특성은 열화가 되는 trad-off 특성을 가지며, 또한 쓰기/지우기 반복 특성에 따라 누설전류가 증가하게 되는 현상을 보인다. 이러한 특성을 향상 시키고자 많은 연구가 진행이 되고 있으며, 특히 엔지니어드 터널베리어에 대한 연구가 주목을 받고 있다. 비휘발성 메모리에 대한 엔지니어드 기술은 각 베리어; 터널, 트랩 그리고 블로킹 층에 대해서 단일 층이 아닌 다층의 베리어를 적층을 하여 유전율, 밴드갭 그리고 두께를 고려하여 말 그대로 엔지니어링 하는 것을 뜻한다. 그 결과 보다 효과적으로 기판으로부터 전자와 홀이 트랩 층으로 주입이 되고, 동시에 다층을 적층하므로 물리적인 두께를 두껍게 형성할 수가 있고 그 결과 전하 보전 특성 또한 우수하게 된다. 본 연구는 터널링 베리어에 대한 엔지니어드 기술로써, Si3N4를 기반으로 하고 높은 유전율과 낮은 뉴설전류 특성을 보이는 ZrO2을 두 번째 층으로 하는 엔지니어드 터널베리어 메모리 소자를 제작 하여 메모리 특성을 확인 하였으며, 또한 Si3N4/ZrO2의 터널베리어의 터널링 특성과 전하 트랩특성을 온도에 따라서 특성 분석을 하였다.

• 한국세라믹학회지
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• 제39권4호
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• pp.377-385
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• 2002

Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor(MFIS) 구조의 적용하기 위해 R. F. 마그네트론 스퍼터를 이용하여 p-type Si(111) 기판 위에 $ZrO_2$와 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막을 증착하였다. SBT 박막은 $ZrO_2$ 완충층을 삽입함으로써 MFIS 구조의 전기적인 특성이 향상되었다. $ZrO_2$ 박막의 두께를 고정하고 SBT 박막의 두께를 160nm에서 220nm으로 변화시키면서 윈도우 메모리를 3-9V의 범위에서 측정하였다. Pt/SBT(160nm)/$ZrO_2$(20nm)/Si의 조건에서 최대 2.2V 메모리 윈도우 값을 얻을 수 있었으며 이 메모리 윈도우 값은 실제 적용되는 저전압 NDRO-FRAM 구동에 충분한 값이다.

• 한국재료학회지
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• 제5권7호
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• pp.888-896
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• 1995

Al 금속분말을 zircon sand (ZrSiO$_4$)와 A1$_2$O$_3$혼합체에 첨가하여 반응소결시킴으로써 무수축 Mullite-ZrO$_2$, 요업체를 얻고자 하였다. 반응식, 3(Al+Al$_2$O$_3$)+2ZrSiO$_4$$\longrightarrow$3A1$_2$O$_3$ .2SiO$_2$+2ZrO$_2$에 의하여 ZrO$_2$-강화 Mullite 요업체를 제조하였다. Al 분말은 A1$_2$O$_3$에 대해 0-30 무게 퍼센트까지 대체하였다. 평량한 분말을 볼밀하여 혼합 분쇄한 후, 정수압 성형하여 시편을 제조하고, 온도범위 1450-1$600^{\circ}C$에서 3시간 반응소결시켰다. Al의 충분한 산화를 위해, 한편으로는 125$0^{\circ}C$에서 5시간동안 열처리를 거친후 소성온도로 올리기도 했다. Al을 첨가함으로서 반응은 촉진되었으며, 소성수축도 산화한 Al의 부피팽창에 의해 상쇄되어, 무수축요업체 제조의 가능성을 보였다. 박편모양을 한 비교적 큰 Al분말이 잘 분쇄되지 않음으로 해서, Al이 자리했던 곳에 큰 기공을 남겼다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.311-313
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• 1997

The effects of porosity on the pressureless sintered $\beta$-SiC-$ZrB_2$ composites with $Al_2O_3$ additions(4, 8, 12wt.%) under argon atmosphere were investigated. Relative density of $\beta$-SiC-$ZrB_2$ composites were decreased with the $Al_2O_3$ content. The relative density and fracture toughness of $\beta$-SiC-$ZrB_2$ with 4wt% $Al_2O_3$ are 93.2%, $1.323MPa{\cdot}m^{1/2}$ respectively. The Vicker's hardness and flexural strength of $\beta$-SiC-$ZrB_2$ with 12wt.% $Al_2O_3$ are 0.492GPa, 261MPa respectively. Fracture toughness of $\beta$-SiC-$ZrB_2$ composites are directly proportional to relative density.

• 한국세라믹학회지
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• 제30권6호
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• pp.485-491
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• 1993

Porous glass in the ZrO2.SiO2 system containning up to 30mol% zirconia were prepared by the sol-gel method from metal alkoxides and their pore characteristics with reaction parameters were investigated. The gels were made by hydrolyzing and condensation of the mixed metla alkoxides and were converted into the porous glass by heating up to $700^{\circ}C$. As a results, the mean pore radius became larger with increasing contents of HCl, H2O and hydrolysis temperature, and an alcohol with a large molecular weight for making the porous glass. In the case of 20ZrO2.80SiO2 porous glass with heated at $700^{\circ}C$, HCl and H2O content was 0.3mol and 4mol, the specific surface area was 284$m^2$/g, average mean pore radius was about 19.4$\AA$, porosity was 22.55% and pore characteristics depended on heating temperature.