RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 (BCZT) 박막의 열처리 특성분석 (Characterization of the Annealing Effect of 0.5 % Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 Thin Films Grown by Rf Magnetron Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제16권5호
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- pp.361-364
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- 2003