Research on the penetration depth of low-energy electron beam in the PMMA-resist film using Monte Carlo numerical analysis (Monte Carlo 수치해석법을 이용한 PMMA resist에서의 저 에너지 전자빔 투과 깊이에 관한 연구)
-
- Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
- /
- v.8 no.4
- /
- pp.743-747
- /
- 2007