Microstructures of Anatase TiO$_2$ Thin Films by Reactive Sputtering
(반응성 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO$_2$ 박막의 미세조직에 관한 연구)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.11 no.9
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- pp.751-758
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- 2001