• 제목/요약/키워드: $TiO_{2-x}$

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담수심차이가 벼 품종과 피의 초기생육에 미치는 영향 (Effects of Different Water Depths on Early Growth of Rice and Barnyard grass(Echinochloa crus-galli))

  • 박성태;장안철;이수관
    • 한국작물학회지
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    • 제38권5호
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    • pp.405-412
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    • 1993
  • 벼와 피의 입모와 초기생육에 미치는 담수심의 영향을 구명하기 위하여 담수심 0, 7.5, 15.0, 22.5cm로 처리하여 파종부 8일 초엽장, 유근장 및 입모수를 파종후 35일 초장, 경수, 건물중 등을 조사한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 담수심이 깊어질수록 벼의 초엽은 길어졌으나 유근장은 짧아졌고, 이들의 신장성이 가장 좋았던 품종은 Italico livorno이었고, 다음이 S201, A301, 화성벼, M202순이었다. 2. 입모율은 담수시이 깊어지면 벼와 피 다같이 떨어졌는데, 피는 담수시 입모율 감소가 심했고 유의성도 인정되었다. 3. 담수심이 깊어지면 벼의 초장은 길어졌으나 피는 짧아졌고, 경장은 다같이 감소하였는데 15cm이상 심수시 피의 생육은 극히 연약하였다. 4. 벼의 엽수는 담수심간은 차이가 없었고, 품종간에는 M202가 1엽정도 적었고, 그 외 품종들간에는 비슷하였다. 5. 지상부 및 뿌리 건물중은 벼는 담수심 7.5cm에서 가장 많았고, 다음이 0,15.0, 22.5cm 담수심 순이었으나 담수심간 유의성은 없었다. 피는 담수심 0cm에 비하여 담수심 7.5, 15.0, 22.5cm에서는 각각 지상부 건물중 65%, 87%, 94%, 뿌리 건물중 81%, 90%, 94%가 감소되어 침수에 따른 생육억제정도가 심하였다. 6. 충실도는 벼는 담수심간 유의성이 없었으나 피는 담수심 0, 7.5, 15.0, 22.5cm에서 각각 12.52, 5.44, 2.30, 1.30mg/cm로 담수심이 깊어짐에 따라 급격히 저하하였다. 7. 공시품종중 Italico livorno와 S201은 다른 품종들에 비하여 초엽장, 유근장 등이 높아 단수직파에 좋은 특성을 가진 품종으로 생각된다. 8. 각 품종내 피의 생육은 경수외에는 유의성이 인정되지 않아 대체로 파종후 35일까지는 벼 품종들과 피와의 경합은 크지 않았던 것으로 사료된다./TEX>는 큰 영향이 없음을 알 수 있었다.다.e 및 free fatty acid) 는 13.3~17.4%로 나타났다.로 빠른 시일에 집중적인 연구가 필요하다고 본다.다. 4. 저온저장(4$^{\circ}C$, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러

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작물생육 유효기온 출현시기를 이용한 건답직파 벼의 지역별 안전작기 설정 (Using Effective Temperatures to Determine Safety Cultivation Season in Direct Seeding Rice on Dry Paddy)

  • 최돈향;윤경민;윤성호;박무언
    • 한국작물학회지
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    • 제42권6호
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    • pp.666-672
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    • 1997
  • 벼 직파재배는 묘대기 보온이 가능한 이앙재배와는 달리 생육 전기간을 파종부터 본 논에서 직접기상의 영향을 받는다. 온대지방에서 벼의 발육속도는 파종기부터 출수기까지 기온에 비례하며, 각각의 생육단계에는 유효기온이 있다. 이러한 생태이론을 적용하여 지역별 농업기후조건에 따른 벼 건답직파재배의 안전작기를 설정하기 위한 생육단계와 안전재배기간을 분석한 결과는 다음과 같다. 1. 파종 후 20일 이내로 출아될 수 있는 일평균기온 13$^{\circ}C$의 출현시기로 파종조한기(CESD)를 결정한 결과, 북부의 인제 (4월 27일 )와 남부의 부산(4월 12일)의 지역간 차이는 약 15일이었다. 2. 출수 후 40일간의 이동평균기온이 22$^{\circ}C$가 되는 출현초일 호적출수기 (OHD)로 결정한 결과, 북부(인제 7월 29일)와 남부(부산 8월 20일)의 지역간 차이는 약 22일의 차이가 있었다. 3. 일평균기온이 15$^{\circ}C$가 되는 출현종일부터 역산한 적산기온이 76$0^{\circ}C$가 되는 시기로 등숙만한 출수기(CHDR)를 결정하였고, 그 결과 북부(인제 8월 18일)와 남부(부산 9월 16일)의 지역간에 약 29일의 차이가 있었다. 4. 일평균기온이 15$^{\circ}C$가 되는 출현종일로 등숙만한기(CLRD)를 결정하였으며, 그 시기는 북부(인제 9월 28일)와 남부(부산 10월 28일)간에 약 30일의 차이가 있었다. 5. 지역별 건답직파재배기간의 적정기간인 파종조한기(CESD)부터 호적출수기(OHD)까지는 인제 93일, 수원과 대전 110~120일, 전주 밀양 및 부산 등지는 120~130일이었고 재배가능 기간인 등숙만한기(CLRD)까지는 인제 154일, 수원과 대전 170~180일, 전주, 밀양 및 부산 등지는 180~200일이었다.환경적응성이 낮은 경향이었다.은 모두 경운 유 ㆍ무에 관계없이 시비수준이 높을수록 높은 경향을 보였고, 10일에 최고수준을 보인 후 완만한 감소를 나타냈으며, $K^{+}$, $Ca^{2+}$에 비해 $Mg^{2+}$이 보다 낮은 함량을 보였다.989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러 기술자(技術者)들에게 도움이 되었으면 하는

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벼 품종들의 출수기에 따른 동화산물 생산능력 및 수용기관 크기 변화 (Changes in Sink capacity and Source Activity of Rice Cultivars in Response to Shift of Heading date)

  • 이석영;권용웅
    • 한국작물학회지
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    • 제40권2호
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    • pp.260-267
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    • 1995
  • 출수기를 조정하기 위하여 이앙기를 달리할 경우 광합성 산물을 공급하는 기관과 축적되는 기관 사이에 어떠한 변화가 있는가를 알기 위하여 일본형 벼 품종 상풍과 진흥, 통일형 벼 금강과 밀양23 흐를 가지고 실시한 실험의 결과는 다음과 같이 요약된다. 1. 출수기가 늦어짐에 따라 일본형 벼품종에서는 이앙에서 출수까지의 기간이 짧아지는 경향을 보였으나 통일형에서는 이와 반대의 현상을 보였다. 2. 유효분얼수와 온도 및 일사량과의 관계에 있어서 일교차가 클수록, 일사량이 많을수록 왕성한 분금을 유도하였으며, 적산온도와는 부의 상관관계를 보였고, 온도에 대한 영향은 통일형보다 일본형에서 커서 일본형은 이앙기의 온도가 생육에 저해를 받지 않는 한 일교차가 큰 조기에 이앙할수록 이삭수를 증가시킬수 있으며, 통일형은 그보다 늦은 시기에 유효분약이 많아 분얼적온에 대한 차이를 보였다. 3. Sink capacity로 나타낼 수 있는 주당 영화수의 경우 일본형에서는 8월 16일 이후로 출수기가 늦어짐에 따라 감소하였는데, 통일형에서는 8월 26일 출수한 구에서 최대의 크기를 보여 일반형과 통일형 사이에 수용기관의 크기형성에 필요한 온도조건이 다름을 알 수 있었다. 4. Source activity의 지표로 측정한 엽연소, 질소 및 탄수화물 함량과 광합성 능력은 출수기에는 각 품종간 출수기 차이에 따른 차이가 없었다. 그러나 9월 5일 출수할 경우 엽록소 함량과 광합성 능력이 출수후 20일 경부터 급격한 감소를 보이기 시작하였으며 이러한 경향은 통일계에서 심하였다. 5. 통일형의 경우 8월 26일 출수한 것이 8월 16일 출수한 것에 비하여 수용기관의 크기가 켰음에도 불구하고, 수량이 낮아졌는데 통일형이 일본형에 비해 등숙적온이 높고 따라서 안전등숙기간의 폭이 좁으며, 출수기가 8월 16일에서 8월 26일로 늦어질 경우 이삭당 영화수는 약간 늘지만 등숙률이 크게 감소하였다.유의상관이 있었다. 6. 파종 10일후 묘의 생육에 있어서도 1대잡종벼가 양친이나 비교품종보다 건물중, 초장 등에서 잡종강세를 나타내었으며 묘의 생육과 a-amylase 활성간에는 유의한 정의상관이 있었다./TEX>, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러 기술자(技術者)들에게 도움이

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노화 수도유묘엽의 단백질분해에 미치는 GA$_3$과 ABA의 영향 (Effects of Gibberellic Acid and Abscisic Acid on Proteolysis of Senescing Leaves from Rice Seedlings)

  • Kang, S. M;Kang, N. J;Cho, J. L;Kim, Z. H;Kwon, Y. W
    • 한국작물학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.350-359
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    • 1993
  • 수도 여절편의 단백질함량 감소는 KCI처리에 의해 촉진된다. 본 연구는 KCI이 증가 시키는 단백질 분해작용을 더욱 촉진시키기 위한 시도의 하나로 GA$_3$와 ABA를 KCI과 혼합처리한 다음, 이들이 노화엽의 단백질 분해작용을 조절하는 기작을 구명하기 위하여 수행하였다. 파종후 16~18일된 실행의 제2본엽을 5cm 길이로 잘라 test 용액에 배양하는 8일간 단백질, aminotks, 흡수량, 단백질 분해효소의 활성과 단백질 분해산물인 aminotks의 유출량 변화 드을 조사하였다. 1. GA$_3$ 단독처리는 잎의 단백질 감소에 큰 영향을 미치지 않았고, KCI과 혼합처리되어도 KCI 단독처리와 비교할 때 유의적인 변화를 유기하지 않았다. 그러나 ABA 단독처리는 단백질분해, amino산의 유출 및 endoproteinase 활성을 현저히 증가시켰고, ABA와 KCI의 혼합처리는 이들의 증가에 상조적이었다. 2. KCI은 Rubisco를 분해하는 exoproteinases의 활성을 감소시키는데 반해 GA$_3$나 ABA 첨가는 모두 이의 감소를 완화시키는 효과가 있었다. 그러나 KCI이 처리된 잎의 endoproteinase 활성은 ABA와의 혼합처리에 의해서만 상조적인 증가를 나타내어 이러한 효과가 없는 GA$_3$와는 그 기능이 대조적이었다. 3. 배양기간중 잎의 흡수량이 낮을수록 단백질 감소량이 많고 그 속도도 빨랐다. ABA와 KCI의 혼합처리로 단백질이 가장 많이 감소하였던 잎의 흡수량이 가장 낮아, 단백질 분해작용과 흡수률 사이에 깊은 관련이 있음을 시사하였다. 4. 따라서 KCI에 의한 수도 엽절편의 단백질분해촉진은 endoproteinases 활성과 감소 등에 그 원인이 있고, ABA는 이러한 변화에 상조적으로 작용하나 GA$_3$는 큰 영향이 없음을 알 수 있었다.다.e 및 free fatty acid) 는 13.3~17.4%로 나타났다.로 빠른 시일에 집중적인 연구가 필요하다고 본다.다. 4. 저온저장(4$^{\circ}C$, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야 한다. 이것은 고무기술자(技術者)가 당면(當面)해야할 과제(課題)에 속(屬)하며 바람직 한것은 본장(本章)의 내용(內容)이 여러 상황하(狀況下)에서 당면(當面)한 문제(問題)에 대(對)해 어떻게 대처(對處)해 야 할지를 모르는 여러 기술자(技術者)들에게 도움이 되었으면 하는 것이다. 얻어짐을 알았다. 여기서의 합성분말을

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저온소결 세라믹을 이용한 밴더형 적층 액츄에이터의 제작 (Bending Mode Multilayer Actuator Using Low Temperature Sintering Piezoelectric Ceramics)

  • 이주영;김상종;강종윤;김현재;이상렬;윤석진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.68-69
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    • 2005
  • Low temperature ($\leq900^{\circ}C$) sintering piezoelectric ceramics $0.01Pb(Mg_{1/2}W_{1/2})O_3$-0.41Pb$(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3-0.35PbTiO_3-0.23PbZrO_3+0.1wt%Y_2O_3+xwt%ZnO$ $(0{\leq}x{\leq}2.5)$ have been developed and investigated. The electromechanical coupling coefficient ($k_p$), piezoelectric constant ($d_{33}$), and mechanical quality factor ($Q_m$) have been measured to characterize the piezoelectric materials system. When 2.0 wt% ZnO is added, the properties of the system, $d_{33}$ = 559 pC/N, $k_p$ = 55.0 % and $Q_m$ = 73.4 are obtained which are very suitable for piezoelectric actuators. A bending mode multilayer actuator has been also developed using the materials which size is $27(L)\times9(W)\times1.07(t)mm^3$. The actuators are fabricated by multilayer ceramic (MLC) process and consist of24 layers and each layer thickness is $35{\mu}m$. At this time, the displacement of actuator was $100{\mu}m$ at 28V.

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백금 담지 촉매상에서 에탄올의 저온연소 (Low-Temperature Combustion of Ethanol over Supported Platinum Catalysts)

  • 김문현
    • 한국환경과학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.67-78
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    • 2017
  • Combustion of ethanol (EtOH) at low temperatures has been studied using titania- and silica-supported platinum nanocrystallites with different sizes in a wide range of 1~25 nm, to see if EtOH can be used as a clean, alternative fuel, i.e., one that does not emit sulfur oxides, fine particulates and nitrogen oxides, and if the combustion flue gas can be used for directly heating the interior of greenhouses. The results of $H_2-N_2O$ titration on the supported Pt catalysts with no calcination indicate a metal dispersion of $0.97{\pm}0.1$, corresponding to ca. 1.2 nm, while the calcination of 0.65% $Pt/SiO_2$ at 600 and $900^{\circ}C$ gives the respective sizes of 13.7 and 24.6 nm when using X-ray diffraction technique, as expected. A comparison of EtOH combustion using $Pt/TiO_2$ and $Pt/SiO_2$ catalysts with the same metal content, dispersion and nanoparticle size discloses that the former is better at all temperatures up to $200^{\circ}C$, suggesting that some acid sites can play a role for the combustion. There is a noticeable difference in the combustion characteristics of EtOH at $80{\sim}200^{\circ}C$ between samples of 0.65% $Pt/SiO_2$ consisting of different metal particle sizes; the catalyst with larger platinum nanoparticles shows higher intrinsic activity. Besides the formation of $CO_2$, low-temperature combustion of EtOH can lead to many other pathways that generate undesired byproducts, such as formaldehyde, acetaldehyde, acetic acid, diethyl ether, and ethylene, depending strongly on the catalyst and reaction conditions. A 0.65% $Pt/SiO_2$ catalyst with a Pt crystallite size of 24.6 nm shows stable performances in EtOH combustion at $120^{\circ}C$ even for 12 h, regardless of the space velocity allowed.

졸-겔법에 의한 강유전성 PZT 박막의 제작 (The Fabrication of Ferroelectric PZT thin films by Sol-Gel Processing)

  • 이병수;정무영;유도현;김용운;이상희;이능헌;지승한;박상현;이덕출
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 전자세라믹 방전플라즈마 일렉트렛트 및 응용기술
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    • pp.93-96
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    • 2002
  • In this study, PZT thin films were fabricated using sol-gel processing onto Si/$SiO_2$/Ti/Pt substrates. PZT sol with different Zr/Ti ratio(20/80, 30/70, 40/60, 52/48) were prepared, respectively. The films were fabricated by using the spin-coating method on substrates. The films were heat treated at $450^{\circ}C$, $650^{\circ}C$ by rapid thermal annealing(RTA). The preferred orientation of the PZT thin films were observed by X-ray diffraction(XRD), and Scanning electron microscopy(SEM). All of the resulting PZT thin films were crystallized with perovskite phase. The fine crystallinity of the films were fabricated. Also, we found that the ferroelectric properties from the dielectric constant of the PZT thin films were over 600 degrees, P-E hysteresis constant. And the leakage current densities of films were lower than $10^{-8}A/cm^2$. It is concluded that the PZT thin films by sol-gel process to be convinced of application for ferroelectric memory device.

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FRAM 소자용 PZT박막의 강유전특성에 관한 연구 (A study on the Improvement of Ferroeletric Characteristics of PZT thin film for FRAM Device)

  • 이병수;정무영;신백균;이덕출;이상희;김진식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1881-1883
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    • 2005
  • In this study, PZT thin films were fabricated using sol-gel Processing onto $Si/SiO_2/Ti/Pt$ substrates. PZT sol with different Zr/Ti ratio(20/80, 30/70, 40/60, 52/48) were prepared, respectively. The films were fabricated by using the spin-coating method on substrates. The films were heat treated at $450^{\circ}C$, $650^{\circ}C$ by rapid thermal annealing(RTA). The preferred orientation of the PZT thin films were observed by X-ray diffraction(XRD), and Scanning electron microscopy(SEM). All of the resulting PZT thin films were crystallized with perovskite phase. The fine crystallinity of the films were fabricated. Also, we found that the ferroelectric properties from the dielectric constant of the PZT thin films were over 600 degrees, P-E hysteresis constant. And the leakage current densities of films were lower than $10^{-8}\;A/cm^2$. It is concluded that the PZT thin films by sol-gel process to be convinced of application for ferroelectric memory device.

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비휘발성 메모리용 강유전체 박막에 관한 연구 (A study on the PZT thin films for Non-volatile Memory)

  • 이병수;박종관;김용운;박강식;김승현;이덕출
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1562-1564
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    • 2003
  • In this study, PZT thin films were fabricated using sol-gel processing onto Si/$SiO_2$/Ti/Pt substrates. PZT sol with different Zr/Ti ratio(20/80, 30/70, 40/60, 52/48) were prepared, respectively. The films were fabricated by using the spin-coating method on substrates. The films were heat treated at $450^{\circ}C,\;650^{\circ}C$ by rapid thermal annealing(RTA). The preferred orientation of the PZT thin films were observed by X-ray diffraction(XRD), and Scanning electron microscopy(SEM). All of the resulting PZT thin films were crystallized with perovskite phase. The fine crystallinity of the films were fabricated. Also, we found that the ferroelectric properties from the dielectric constant of the PZT thin films were over 600 degrees, P-E hysteresis constant. And the leakage current densities of films were lower than $10^{-8}A/cm^2$. It is concluded that the PZT thin films by sol-gel process to be convinced of application for ferroelectric memory device.

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RF magnetron reactive sputtering 법으로 제작한 BST 박막의 전기적 및 계면 특성에 관한 연구 (Electrical and interface characteristics of BST thin films grown by RF magnetron reactive sputtering)

  • 강성준;장동훈;유영섭
    • 전자공학회논문지D
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    • 제35D권5호
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    • pp.33-39
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    • 1998
  • The BST (Ba$_{1-x}$ Sr$_{x}$TiO$_{3}$)(50/50) thin film has been grown by RF magnetron reactive sputtering and its characteristics such as crystallization, surface roughness, and electrical properties have been investigated with varying the film thickness. The crystallization and surface roughness of BST thin film are investigated by using XRD and AFM, respectively The BST thin film anealed at 800.deg. C for 2 min has pure perovskite structure and good surface roughness of 16.1.angs.. We estimate that the thickness and dielectric constant of interface layer between BST film and electrode are 3nm and 18.9, respectively, by measuring the capacitance with various film thickness. As the film thickness increases form 80nm to 240nm, the dielectric constant at 10kHz increases from 199 to 265 and the leakage current density at 200kV/cm decreases from 0.682.mu.A/cm$^{2}$ to 0.181 .mu.A/cm$^{2}$. In the case of 240nm-thick BST thin film, the charge storage density and leakage current density at 5V are 50.5fC/.mu.m$^{2}$ and 0.182.mu.A/cm$^{2}$, respectively. The values indicate that the BST thin film is a very useful dielectric material for the DRAM capacitor.or.

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