• 제목/요약/키워드: $SrTiO_2$

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CVD법에 의한 Si(111) 기판에 YBaCuO계 초전도 박막의 제조 (Preparation of YBaCuO System Superconducting Thin Films on Si(111) substrates by Chemical Vapor Deposition)

  • 양석우;김영순;신형식
    • 공업화학
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    • 제8권4호
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    • pp.589-594
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    • 1997
  • 화학증착법을 통하여 $650^{\circ}C$의 증착온도와 0.0126Torr의 산소분압인 증착조건에서 원료물질로 $\beta$-diketonates 킬레이트 화합물을 사용하여 Si(111) 및 $SrTiO_3(100)$ 기판에 $YBa_2Cu_3O_y$ 고온 초전도 박막을 제조하였다. $SrTiO_3(100)$기판에서 제조된 박막의 $T_{c,onset}$$T_{c.0}$는 각각 91K와 87K로 나타났다. 또한, Si(111)기판에서 제조된 박막의 $T_{c,onset}$은 91K였지만 $T_{c.0}$는 액체질소 비등점(77.3K)에서는 보이지 않았다. $SrTiO_3(100)$에 증착된 초전도 박막은 치밀하고 2차원적으로 배열된 미세구조를 갖고 있는 반면, Si(111)에 증착된 초전도 박막은 상대적으로 기공이 많으며 무질서한 미세구조를 형성하였다.

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Plused Laser Depositon을 이용한 Nb doped SrTiO$_3$ 박막의 제작과 최적 조건 (Preparation of Nb doped SrTiO$_3$ Film by Pulsed Laser Deposition and Optimum Processing Conditions)

  • 안진용;;최승철
    • 한국세라믹학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.116-121
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    • 1999
  • MgO 단결성 (100) 기판 위에 0.5 wt% Nb 첨가된 전기전도성의 SrTiO3 (Nb:STO) 박막을 Pulsed Laser Deposition 법으로 제조하였다. 산소압력, 타겟과 기판거리, 기판온도, 박막증착시간 등의 박막형성 조건을 다양하게 변화시켜 Nb:STO박막의 격자상수와 박막두께의 변화를 조사하였다. $700^{\circ}C$에서 제작한 0.5 wt% Nb doped SrTiO3 박막의 배향성은 산소분압변화에 따라(100), (110)과 (111)배향이 관찰되었고, 박막제조시의 산소분압이 79.8 Pa로 증가됨에 따라 격자상수는 감소하여 벌크값인 0.390 nm에 근접하였다. 증착시간증가에 따른 박막의 두께는 증착시간에 비례하여 증가하였고, 격자상수의 변화는 거의 없었다. 타겟과 기판사이의 거리가 멀어짐에 따라 박막의 두께는 감소하였으나, 격자상수에는 큰 변화가 없었고 박막두께분포의 균일성이 향상되었다.

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$SrTiO_3$ 치환에 따른 (Na,K)$NbO_3$ 세라믹스의 압전 및 유전 특성 (Piezoelectric and Dielectric Properties of (Na,K)$NbO_3$ Ceramics as a Function of $SrTiO_3$ substitution)

  • 이상호;김도형;이일하;류주현
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.175-176
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    • 2008
  • In this study, in order to develop the composition ceramics for lead-free ultrasonic motor, $[(K_{0.5}Na_{0.5})_{0.95}Li_{0.05}(Nb_{0.96}Sb_{0.04})]O_3$ ceramics were fabricated using $Ag_2O$ as sintering aid and a conventional mixed oxide process and their piezoelectric and dielectric characteristics were investigated according to the $SrTiO_3$ substitution. $SrTiO_3$ substitution enhanced density, dielectric constant$(\varepsilon_r)$ and electromechanical coupling factor$(k_p)$. However, mechanical quality factor was deteriorated. At the 0.5mol% $SrTiO_3$ substitution, density, electromechanical coupling factor$(k_p)$, dielectric constant$(\varepsilon_r)$ and piezoelectric constant$(d_{33})$ of specimen showed the optimum value of 4.437g/$cm^3$, 0.457, 1294, 265pC/N, respectively.

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SrTiO3 치환에 따른 (Na,K)NbO3계 세라믹스의 유전 및 압전특성 (Dielectric and Piezoelectric Properties of (Na,K)$NbO3 Ceramics as a Function of SrTiO3 Substitution)

  • 이상호;류주현;이의용;송현선;마석범;김성구
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권6호
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    • pp.484-488
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    • 2009
  • In this study, in order to develop the lead-free piezoelectric ceramics with high piezoelectric and dielectric properties, $[(K_{0.5}Na_{0.5})_{0.95}Li_{0.05}(Nb_{0.96}Sb_{0.04})]O_3$ ceramics were fabricated using $Ag_2O$ as sintering aid and a conventional mixed oxide process and their piezoelectric and dielectric characteristics were investigated according to the $SrTiO_3$ substitution. $SrTiO_3$ substitution enhanced density, dielectric constant(${\varepsilon}_r$) and electromechanical coupling factor($k_p$). However, mechanical quality factor was deteriorated. And also, Curie temperature ($T_c$), and phase transition temperature($T_p$) were rapidly decreased. At the 0.5 mol% $SrTiO_3$ substitution, density, electromechanical coupling factor($k_p$), dielectric constant(${\varepsilon}_r$) and piezoelectric constant($d_{33}$) of specimen showed the optimum value of $4.437\;g/cm^3$, 0.457, 1294, 265 pC/N, respectively.

BST-MgO 강유전체 후막의 가변 튜닝 특성에 관한 연구 (A study on the tunning properties of BST-MgO thick film)

  • 김인성;민복기;송재성;전소현
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.15-17
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    • 2005
  • In this study, tunable dielectric materials are important for resonator, variable capacitor, phased array antenna and other devices application. In this paper, Dielectric constant increased and tuning range increased with the increased of $BaSrTiO_3/Li_{2}CO_{3}$ content, which probably can be explained by the substitution of Ba3+, Li1+ on BaTiO3 lattice. The tunability and dielectric loss of the $BaSrTiO_2/Li_{2}CO_{3}$ thick film, sintered at $1150^{\circ}C$, were about 43 % and 0.234 at 10$\sim$15 MHz, respectively. In case of BaSrTi/MgO, Dielectric constant decreased and tenability increased with the added of $BaSrTiO_3/MgO$. The ferroelectrics properties were distinct when adding Li to BST ceramic thick film, and paraelectrics pattern was distinct when adding Mg.

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메탄올 광분해 수소제조를 위한 ATiO3 (A = Ca, Sr, Ba) Perovskite 광촉매의 Ni 첨가 영향 (Effect of Ni Addition on ATiO3 (A = Ca, Sr, Ba) Perovskite Photocatalyst for Hydrogen Production from Methanol Photolysis)

  • 곽병섭;박노국;이태진;이상태;강미숙
    • 청정기술
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    • 제23권1호
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    • pp.95-103
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    • 2017
  • 본 연구는 비 $TiO_2$ 계 광촉매 중 가장 널리 알려져 있는 $ATiO_3$ (A = Ca, Sr, Ba) perovskite를 sol-gel 법을 이용해 합성하였고, 골격치환이 용이한 점을 이용해 A site에 Ni을 첨가한 입자를 합성하였다. 합성한 $ATiO_3$와 Ni-$ATiO_3$ 입자의 불리화학적 특성은 X-선 회절분석(XRD), 자외선-가시선 분광광도계(UV-visible spectroscopy), 주사전자현미경 (SEM), 에너지분산형 분광분석법(EDS), 질소 등온 흡 탈착실험, X선 광전자분광법(XPS)을 이용해 확인하였다. 수소제조는 메탄올을 광분해하여 얻었으며, $ATiO_3$ 보다 Ni-$ATiO_3$ 촉매에서 높은 수소발생량을 나타내었다. 특히 Ni-$SrTiO_3$ 촉매를 사용하였을 때 24시간 반응 후 $273.84mmolg^{-1}$의 수소가 발생하였다. 또한 Ni-$SrTiO_3$ 촉매는 물(0.1 M KOH)을 분해하였을 때에도 높은 수소 제조 성능을 나타냈으며, 24시간 반응 후 $961.51mmolg^{-1}$의 수소가 발생한 것을 확인하였다.

$(Sr.Pb)TiO_3$계 세라믹의 전기전도 및 DC절연파괴 특성 (The electrical conduction and DC breakdown properties of $(Sr.Pb)TiO_3$-based ceramic)

  • 김충혁;정일형;이준웅
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제5권4호
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    • pp.421-429
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    • 1992
  • 본 연구에서는 (Sr.Pb)TiO$_{3}$계 세라믹을 고압용 세라믹 캐패시터로 응용하기 위하여 일반적인 세라믹 소성법으로 제작하였으며 Bi$_{2}$O$_{3}$. 3TiO$_{2}$의 첨가량에 따른 전기전도 및 DC 절연파괴 특성을 조사하였다. 전도전류는 측정온도의 상승과 Bi$_{2}$O$_{3}$.3TiO$_{2}$의 첨가량이 증가함에 따라 상승하였다. 실온에서 전도전류는 전계에 따라 3영역으로 나누어졌다. 전계 15[kV/cm]이하의 영역에서는 오음의 법칙이 성립하는 이온전도가 나타났으며 전계 15[kV/cm]~40[kV/cm]인 영역에서는 전계에 강요된 강유전성 분극의 반전게에 기인하여 전류의 포화현상이 나타났다. 전계 40[kV/cm] 이상의 영역에서는 공간전하제한전류에 관련된 차일드법칙이 성립하였다. DC 절연파괴 강도는 측정온도의 상승과 Bi$_{2}$O$_{3}$.3TiO$_{2}$의 첨가량이 증가함에 따라 감소하였다. 온도 100[.deg.C] 이하에서는 전자적파괴가 일어났으며 100[.deg.C] 이상에서는 주울열과 유전손실에 의한 열적파괴가 나타났다.

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Epitaxial하게 증착된 rutile-$TiO_2$와 anatase-$TiO_2$ 박막의 구조적 성질과 광전 성질에 대한 연구 (Structural and photovoltaic properties of epitaxial rutile and anatase filmes)

  • 박배호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
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    • pp.480-483
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    • 2001
  • Epitaxial rutile-$TiO_2$ and anatase-$TiO_2$ films were grown at $800^{\circ}C$ on $Al_2O_3$ (1102) and $LaAlO_3$ (001), respectively, using pulsed laser deposition. The formation of different phases on different substrates could be qualitatively explained by the atomic arrangements at the interfaces. We also successfully deposited epitaxial rutile-$TiO_2$ and anatase-$TiO_2$ films on conductive $RuO_2$ and $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_{3}$ electrodes, respectively. Using a Kelvin probe, we measured the photovoltaic properties of these multilayer structures. A rutile-$TiO_2$ film grown on $RuO_2$ showed a very broad peak in the visible light region. An epitaxial anatase-$TiO_2$ film grown on $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_{3}$ showed a strong peak with a threshold energy of 3.05 eV.

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Epitaxial하게 증착된 rutile-$TiO_2$와 anatase-$TiO_2$ 박막의 구조적 성질과 광전 성질에 대한 연구 (Structural and photovoltaic properties of epitaxial futile and anatase filles)

  • 박배호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.480-483
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    • 2001
  • Epitaxial rutile-TiO$_2$ and anatase-TiO$_2$ films were grown at 80$0^{\circ}C$ on $Al_2$O$_3$ (1102) and LaAlO$_3$ (001), respectively, using pulsed laser deposition. The formation of different phases on different substrates could be qualitatively explained by the atomic arrangements at the interfaces. We also successfully deposited epitaxial rutile-TiO$_2$ and anatase-TiO$_2$ films on conductive RuO$_2$ and La$_{0.5}$Sr$_{0.5}$CoO$_3$ electrodes, respectively Using a Kelvin probe, we measured the photovoltaic properties of these multilayer structures. A rutile-TiO$_2$ film grown on RuO$_2$ showed a very broad peak in the visible light region. An epitaxial anatase-TiO$_2$ film grown on La$_{0.5}$Sr$_{0.5}$CoO$_3$ showed a strong peak with a threshold energy of 3.05 eV 3.05 eV

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Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성 (Fabrication of $Ba_xSr_{1-x}TiO_3$(BST) Thin Films by Sol-Gel Method and their Dielectric Properties)

  • 장수익;최병철;장현명
    • 한국재료학회지
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    • 제6권5호
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    • pp.449-456
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    • 1996
  • BaO, SrCI2.6H2O 그리고 Ti(OPri)4를 출발 원료로 사용하여 균일한 BaxSr1-xTiO3(BST) 솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 $600^{\circ}C$ 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. $700^{\circ}C$에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.

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