$SnO_2$ 박막의 CMP 특성
(CMP properties of $SnO_2$ thin film)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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- pp.184-187
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- 2003