• 제목/요약/키워드: $SnF_2$

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초음파분무법에 의해 제작된 $SnO_2(:F)$ 박막의 특성 (Properties of fluorine-doped $SnO_2$ films prepared by the ultrasonic spray deposition)

  • Byung Seok Yu;Sei Woong Yoo;Jeong Hoon Lee
    • 한국결정성장학회지
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    • 제4권3호
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    • pp.294-305
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    • 1994
  • 초음파 분무법에 의한 $SnO_2(:F)$박막의 제막시 DBDA와 $SnCl_4.5H_2O$를 출발물질로 사용하은 경우 제막조건이 전기적, 광학적 그리고 표면형상 드의 특성에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 박막의 비저항은 출발물질에 관계없이 용액내의 F/Sn의 비가 0.6일 때까지는 급격히 증가하였으며, $SnO_2.5H_2O$를 출발물질로 사용한 경우 DBDA의 경우보다 낮았다. 용액내의 F/Sn의 비가 1일 때 출발물질로서, $SnO_2.5H_2O$과 DBDA를 사용한 경우 광투과율은 각각 83%와 85%로서 DBDA 사용한 경우가 다소 높았다.

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고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 TO:F 투명도전막의 제조 및 특성( I ) (Fabrication and Characteristics of TO:F Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering( I ))

  • 박기철;김정규
    • 센서학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.65-73
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    • 1994
  • 고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 TO:F($SnO_{2}:F$)막을 제조하고 막의 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. TO:F막은 $SnF_{2}$를 무게비로 첨가한 $SnO_{2}$ 타겟을 사용하여 증착되었으며 투명도전막으로서의 최적증착조건은 타겟내의 $SnF_{2}$의 첨가량이 15wt.% 고주파출력이 150W, 기판온도가 $150^{\circ}C$ 및 반응실내의 동작압력이 2mmTr일 때이다. 최적 증착조건에서 저항률은 $9{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$였으며 광투과도는 550nm에서 88%였다. 광투과도로부터 구해진 광학적 밴드갭은 타겟내에 $SnF_{2}$가 첨가되지 않은 경우 및 15wt.% 첨가된 경우에 각각 3.84eV 및 3.9eV로 나타났다. X-선회절분석의 결과 TO막 및 TO:F막은 (101),(200)방향으로 성장한 tetragonal rutile구조를 가지고 있었다.

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ZnO/$SnO_2$:F 박막의 수소플라즈마 처리에 따른 전기적.광학적 특성 변화 (Electrical and Optical Properties of ZnO/$SnO_2$:F Thin Films under the Hydrogen Plasma Exposure)

  • 강기환;송진수;윤경훈;유권종;한득영
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1993년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.1147-1149
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    • 1993
  • ZnO/$SnO_2$:F bilayer films have been prepared by pyrosol deposition method to develop optimum transparent electrode for use in amorphous silicon solar cells. The solution for $SnO_2:F$ film was composed of $SnCl_4{\cdot}5H_2O,\;NH_4F,\;CH_3OH$ and HCl, and ZnO films have been deposited on the $SnO_2:F$ films by using the solution of $ZnO(CH_3COO){_2}{\cdot}2H_2O,\;H_2O\;and\;CH_3OH$. These films have been investigated the variation of electrical and optical properties under the hydrogen plasma exposure. The sheet resistance of the $SnO_2:F$ film was sharply increased and its transmittance was decreased with the blackish effect after plasma treatment. However, the ZnO/$SnO_2:F$ bilayer film was shown hydrogen plasma durability because the electrical and optical properties was almost unchanged more then 60 seconds exposure time.

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반응성 DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO$_2$ : F 박막의 전기광학적 특성 (Electrical and Optical Properties of SnO$_2$: F Thin Films by Reactive DC Magnetron Sputtering Method)

  • 정영호;김영진;신재혁;송국현;신성호;박정일;박광자
    • 한국표면공학회지
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    • 제32권2호
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    • pp.125-133
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    • 1999
  • Fluorine-doped $SnO_2$ thin films were deposited on soda-lime glass substrates by reactive DC magnetron sputtering method. Crystallinity as well as electrical and optical properties of $SnO_2$ : F thin film were investigated as the variations of deposition conditions such as substrate temperature, DC Power, $O_2$ gas pressure, $SF_6$ gas pressure. $SnO_2$ : F thin film deposited with 5% $SF_6$ gas pressure showed electrical resistivities of $2.5\times10^{-3}$cm with the average optical transparency (about 80%) These electrical and optical properties were found to be related to the crystallinity of $SnO_2$ : F thin films.

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2차원적 K2NiF4형 구조의 Sr2-2xEuxKxSnO4에서 Eu3+ 이온의 Luminescence (Eu3+ Luminescence in Two-Dimensional Sr2-2xEuxKxSnO4 with K2NiF4 Structure)

  • 여철현;;류광현
    • 대한화학회지
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    • 제41권4호
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    • pp.175-179
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    • 1997
  • 2차원적 $K_2NiF_4$형 구조를 갖는 $Sr_{2-2x}Eu_xK_xSnO_4$의 주격자 안에 존재하는 Eu3+ 이온의 luminescence에 대한 연구를 수행하였다. $Eu^{3+}$ 이온의 $^5D_o$$^7F_o$ 전이에 의한 방출선은 J=0 → J=0 전이로써 $Eu^{3+}$ 이온의 4f 껍질에서 전기 이중극자 전이에 대한 Judd-Ofelt 선택규칙(selection rule)에 의하여 금지된 전이이다. 그러나 $Sr_{2-2x}Eu_xK_xSnO_4$의 Eu3+ 이온의 방출 스펙트라에서는 $^5D_o$$^7F_o$$^5D_o$ → $^7F_o$

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Pyrosol 법에 의한 $SnO_2$ : F 박막의 전기적 광학적 특성 (Electrical and Optical Properties of $SnO_2$ : F Thin Films by Pyrosol Method)

  • 윤경훈;송진수;강기환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1990년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.187-190
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    • 1990
  • A new technique is described for developing low-cost $SnO_2$ : F thin films as TCO (Transparent Conducting Oxide) substrate of a-Si solar cells. A novel Pyrosol equipment has been developed, and $SnO_2$ : F thin films have been deposited under the condition of varing dopant concentration, temperature and composition rate of solution. Futhermore, electrical and optical properties of thin films have been measured, and exhibit resistivity of $4.3{\times}10^{-4}{\Omega}$ cm and transmittance of 80% which is almost at the same level as those of $SnO_2$ : F thin films by CVD.

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불화물 복합적용이 법랑질의 재석회화에 미치는 영향에 관한 연구 (A Study on the Effect of Multi-Application of Fluoride on Enamel Remineralization)

  • 조민정;이향님
    • 한국치위생학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.125-132
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    • 2001
  • This study was carried out to investigate the effect of multi or single application of fluoride plus 0.05% NaF solution on the remineralization of dental caries lesion. The microhardness changes of enamel surface were measured after application of fluoride and precipitation of 0.05% NaF solution on 6 groups of cow's tooth on which the artificial carious lesions were formed first. Test groups were calssified into two step application with NaF, $SnF_2$ and APF under different application time conditions plus 0.05% NaF solution(group I, II, III, IV) and single application with APF plus 0.05% NaF solution (group V) and control(0.05% NaF solution only, group IV). The obtained results were as follows. 1. Regarding microhardness change of enamel surface. microhardness increments in group I(NaF for 1 minute+APF for 3 minutes+0.05% NaF solution for 1 minute), II($SnF_2$ 1 min+APF 3 min+NaF sol.), III($SnF_2$ 2 min+APF 2 min+NaF sol.), IV(NaF 2 min+APF 2 min+NaF sol.) and V(APF 4 min+NaF sol.) were significantly greater than group VI.(P<0.05) 2. Microhardness changes of shorter application time of $SnF_2$ (group II) were significantly greater than group III. (P<0.05) 3. Microhardness changes were variable with kinds of fluoride, application sequence and application time of fluoride. but had no relation with the number of fluoride application.

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불소 도핑 이산화주석 박막의 수소플라즈마 내구성 (HYDROGEN PLASMA DURABILITY OF $SnO_2$:F FILMS)

  • 윤경훈;송진수;강기환
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1992년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.847-849
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    • 1992
  • Fluorine-doped ($SnO_2$:F) thin films obtained by pyrosol deposition method have been exposed to R.F. excited pure hydrogen plasma under the following conditions; substrate temperature of 200$^{\circ}C$, $H_2$ pressure of 1 Torr, R.F. input power of 50 mW/$\textrm{cm}^{2}$, $H_2$ flow rate of 30cc/min and exposure time of 15-600 seconds. It is found that the sheet resistance of the films remains unchanged or rather slightly reduces for initial exposure time of 30-60 seconds, but increases sharply with further increasing the exposure time. The optical transmittance of $SnO_2$:F films slows a rapid fall with increasing exposure time except for a film obtained with a solution having $CH_3OH/H_2O$ mol ratio of 2.65, its degradations at the exposure time of 30-60 seconds are about 7-15%. In addition, the exposure of the films to hydrogen plasma atmosphere leads to remarkable changes in the microstructure and chemical composition, which should be attributed to the reduction of $SnO_2$ to SnO and to elemental Sn.

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SnSe/BaF2 단결정 박막의 성장과 광학적 특성 (Growth and Optical Properties of SnSe/BaF2 Single-Crystal Epilayers)

  • 이일훈;두하영
    • 한국안광학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.209-215
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    • 2002
  • 본 실험에서는 HWE 방법으로 성장시킨 SnSe 단결정 박막에 대한 특성을 조사하였다. 성장된 박막의 결정 구조와 격자 상수를 알아보기 위하여 X-ray diffraction(XRD)에 의한 회절 패턴을 측정하고, 단결정 박막의 결정성을 확인하기 위하여 double crystal X-ray diffraction(DCXRD)에 의한 회절 패턴을 측정하여, 원료부와 열벽부 그리고 기판의 온도 변화에 따른 반치폭을 알아보았다. Rutherford back scattering(RBS)을 측정하여 Sn과 Se의 조성비를 확인하고, 실험값과 이론값의 차이를 조사하였다. 박막의 표면 상태는 atomic force microscopy(AFM) 사진과 주사 전자 현미경(SEM) 사진으로 관찰하여 결정구조와 성장 온도와의 연관성을 조사하였다. 광학 상수는 Spectroscopic Ellipsometry(SE) 방법을 이용하여 단결정 박막의 굴절률(n), 유전상수(${\varepsilon}$), 반사율(R) 그리고 흡수 계수(${\alpha}$) 등 광학 상수를 측정했다.

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PbSnSe 단결정 박막의 성장과 광학적 특성 (Growth and Optical Properties of PbSnSe Epilayers Grown on BaF2(111))

  • 이일훈
    • 한국안광학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.35-41
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    • 2004
  • IV-VI족 화합물인 PbSnSe는 흥미 있는 물리적 특성을 가지고 있는 화합물 반도체로써 본 실험에서는 HWE 방법으로 성장시킨 PbSnSe 박막에 대한 특성을 조사하였다. 원료부와 열벽부 그리고 기판의 온도를 변화시키며 단결정 박막을 성장시켰다. Rutherford back scattering (RBS)을 측정하여 Pb:Sn:Se의 조성비를 확인하였다. 특히 좁은 에너지 대역을 측정하기에 매우 용이한 Fourier transform infra red (FT-IR)측정 장치를 이용하여 에너지 갭을 측정하였다. 박막의 표면 상태는 atomic force microscopy (AFM) 사진과 주사 전자 현미경 (SEM) 사진으로 관찰하여 결정구조와 성장 용도와의 연관성을 조사하였다. 광학 상수는 Spectroscopic ellipsometry (SE) 방법을 이용하여 박막의 광학 상수를 측정했다. PbSnSe 화합물 에피층 시료의 굴절률(n), 유전상수(${\varepsilon}$), 반사율(R) 그리고 흡수 계수(${\alpha}$)등 광학상수를 측정하였다.

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