• 대한전기학회논문지:전기기기및에너지변환시스템부문B
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• 제54권3호
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• pp.139-144
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• 2005

[ $SF_6$ ] gas circuit breakers are widely used short circuit current interruption in EHV or UHV power system. For a $SF_6$ gas circuit breaker development, the $SF_6$ gas velocity measurement is necessary during $SF_6$ circuit breaker's trip operation. Small-gap flashover characteristics are used for this measurement. So, small-gap measuring system which will be used to develope GCB should be developed. This study shows the characteristic analysis and experimental results of small-gap measuring system.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 B
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• pp.713-714
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• 2006

$SF_6$ 가스절연 Recloser는 선로에 일시적인 과전류가 발생하면 개방 후 자동 재투입 하면서 선로의 정상적인 운전상태를 회복하고, 영구 고장 시에는 정해진 Sequence에 따라 개방, 투입을 반복한 후 개방완료 상태에 이르게 하는 보호기기이며, 조작부는 주로 Solenoid Actuator 방식을 채택해왔었다. 그러나 Solenoid Actuator 방식은 구조가 복잡하고 부품수가 많은 단점이 있어 최근에는 사용 부품수를 획기적으로 감소 시키고 조작 신뢰성을 증대시킨 Magnetic Actuator 방식을 채택하여 사용하는 경향을 보이고 있다. 이 Magnetic Actuator 방식은 구조가 간단하고 부품수가 적어 높은 신뢰성을 확보할 수 있고 유지 보수가 거의 필요하지 않는 장점을 가지고 있다. 이에 본 논문에서는 $SF_6$ 가스절연 Recloser의 조작부에 Magnetic Actuator 방식(이하 PMA (Permanent Magnetic Actuator))을 채용 하였으며, 이를 적용하기위한 입력전원 및 투입, 개방 코일을 패러미터로 하여 PMA의 동적특성을 실험하였으며, 이 실험 자료에 근거하여 27[kV] $SF_6$ 가스절연 Recloser의 PMA 조작부를 설계 및 제작하였다.

• 대한전기학회논문지:전기기기및에너지변환시스템부문B
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• 제53권3호
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• pp.129-134
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• 2004

To analyze the performance of the gas circuit breaker(GCB), the flow field variables such as temperature, pressure and density should be evaluated accurately In the puffer chamber of puffer type GCB, the pressure rise may Exceed 20 bar and in this range of high pressure, $SF_6$ gas deviates the ideal gas property. Therefore, the real gas property of $SF_6$ should be taken into consideration for the accurate analysis of flow field. This paper presents the analysis technique of cold gas flow in GCB employing the real gas state equation of SF6. The FVFLIC method is Employed to solve the axisymmetric Euler equation. To reduce the computational effort of real gas state equation, the relationship between density and pressure is approximated by the polynomial at the temperature of 300K. The proposed method is applied to the test GCB model and simulation results show good agreement with the experimental ones.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.295-295
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• 2012

염소와 불소 혼합가스와 펄스 직류 전원 플라즈마를 이용하여 GaAs/$Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 선택적 식각을 연구하였다. 식각 주요 공정 변수는 혼합 플라즈마에서 불소 가스의 유량(0~50%) 이었다. 다른 공정 조건은 공정 압력, 펄스 파워, 펄스 주파수, 리버스 시간이 이 있다. 저진공(~100 mTorr) 플라즈마에 대한 연구로 한정하여 기계적 펌프만을 사용하여 공정을 진행하였다. 오실로스코프(Oscilloscope) 데이터에 의하면 가스의 조성 변화에도 척에 걸리는 입력 전압과 전류가 거의 변화가 없었다. $BCl_3/SF_6$플라즈마에서 $SF_6$가스가 10%의 조성에서 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$의 식각 선택비가 약 50:1로 우수한 결과를 나타내었다. 혼합 플라즈마에서 $SF_6$가스의 증가는 GaAs의 식각율과 선택도를 감소시켰다. 그리고 불소 성분 가스의 조성비가 일정량 이상일 경우에는 GaAs와 $Al_{0.2}Ga_{0.8}As$가 거의 식각되지 않았다. 위의 결과들을 종합적으로 보면 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$플라즈마에서 불소의 조성비는 GaAs의 선택적 식각에서 중요한 역할을 함을 알 수 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.464-464
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• 2012

본 연구에서는 DBD (Dielectric Barrier Discharge)방식을 통해 발생된 대기압 plasma를 이용한 Photoresist (PR) Ashing에 관한 연구를 하였다. 사용된 DBD 반응기는 기존의 blank planar plate 형태의 Power가 인가되는 anode 부분과 Dielectric Barrier 사이 공간을 액상의 도전체로 채워 넣은 형태의 전극이 사용 하였으며, 인가 Power는 40 kHz AC 최대 인가 전압 15 kV를 사용 하였고(본 연구에서 인가 power는 30 KHz,전압 14 KV를 고정시킴) 플라즈마를 발생시 라디칼의 활성화를 유지하기 위해 전극 온도가 $180^{\circ}C$ 정하였다. Feeding 가스는 N2, 반응가스로는 CDA(Clean Dry Air), SF6와 CF4가스를 사용 하였으며 모든 공정은 In-line type으로 시편을 처리 하였다. CDA ratio의 경우에 질소대비 0.2%때 이송속도 30 mm/sec 1회 처리 기존 PR ashing은 최대 $320{\AA}$의 ashing 두께를 얻을 수 있었다. SF6와 CDA가스를 같이 반응하는 경우 ratio는 CDA : SF6 = 0.6% : 0.6%에서 PR ashing rate이 $841{\AA}/pass$의 값을 얻을 수 있었고, CDA가스만 첨가하는 경우보다 약2.6배 증가함을 관찰할 수 있었다. CF4 가스를 사용하는 경우 ratio는 CDA : CF4 = 0.2% : 0.2%에서 PR ashing rate이 $687{\AA}/pass$의 값을 얻을 수 있으며 CDA가스만 첨가하는 경우보다 약 2.1배 증가함을 관찰할 수 있었다. 그리고 PR ashing rate가 가스첨가종류와 비율에 따라서 변화함을 관찰하였고 최적조건을 찾기 위해 연구를 진행하였다. 추후 PR ashing rate가 향상을 하기 위해 가스혼합비율 및 stage 온도등 조건을 조절하여 공정최적조건을 얻기 위해 연구를 진행하였다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B
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• pp.2494-2499
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• 2007

Self-blast circuit breakers utilize the energy dissipated by the arc itself to create the required conditions for arc quenching during the current zero. The high-current simulation provides information about the mixing process of the hot PTFE cloud with $SF_6$ gas which is difficult to access for measurement. But it is also hard to simulate flow phenomenon because the flow in interrupter with high current, $SF_6$-PTFE mixture vapor and complex physical behavior including radiation, calculation of electric field. Using a commercial computational fluid dynamics(CFD) package, the conservation equation for the gas and temperature, velocity and electric fields within breaker can be solved. Results show good agreement between the predicted and measured pressure rise in the thermal chamber.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.258-260
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• 2004

산업 발전과 정보화 사회로 인한 전력 수요의 급증으로 안정된 전기에너지 공급을 위해 전력계통은 고전압 대용량화되고 있다. 따라서 전력계통 현장에서 많이 사용되고 있는 GIS에 결함이 발생하면 치명적인 사고를 유발할 수 있다. 본 논문은 모의 GIS내 도전성 금속이물질 존재 시 발생되는 부분방전 신호를 절연진단 방법 중 하나인 UHF법을 이용하여 부분방전 시 방사되는 Narrow Band 방사전자파를 측정하여 $SF_6$ 가스의 절연 특성을 연구하였다. 이러한 연구는 GIS 및 전력기기에 사용되는 $SF_6$ 가스의 절연 이상으로 인한 사고를 미연에 방지하기 위한 부분방전 탐지에 중요한 기초 자료가 될 것으로 사료된다.

• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.330-333
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• 2006

산업현장에서 많이 사용되고 있는 전력기기에 결함이 발생하면 치명적인 사고로 진전되어 큰 경제적, 인적 손실을 가져온다. 본 논문은 GIS에 사용되는 절연가스인 $SF_6$의 압력 변화에 따른 부분방전을 모의하고, 발생되는 부분방전 신호를 절연 진단 방법 중 하나인 UHF법을 이용하여 부분방전 시 방사되는 방사전자파의 스펙트럼을 분석하고, 접지로 흐르는 방전 전류를 측정하여 방전진전 과정을 관측하였다. 본 연구는 GIS 및 $SF_6$ 가스를 절연물로 사용하는 전력설비에서 내부압력 변화 시 금속이 물질에 의해 발생되는 절연파괴 사고의 예방진단에 유용한 자료가 되리라 판단된다.

• 청정기술
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• 제19권4호
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• pp.476-480
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• 2013

라만 분광학과 분자 모델링을 이용하여 메탄과 육불화황의 혼합 기체 가스 하이드레이트의 성장거동을 연구하였다. 라만 분광학 결과에 의하면 메탄을 객체 가스로 사용할 경우 메탄이 물 분자로 이루어지는 가스 하이드레이트 호스트 구조 내의 큰 동공을 채우고 차례로 작은 동공이 채워지게 되는데 반하여 육불화황을 혼합한 경우 육불화황과 메탄이 경쟁적으로 큰 동공을 채우고 이어 작은 동공에는 메탄만 채워지는 방식으로 전체 가스 하이드레이트 구조가 안정화됨을 관찰하였다. 분자 모델링에 의한 결합에너지 계산 결과 큰 동공의 경우 육불화황은 -26.9 kcal/mol, 메탄은 -24.2 kcal/mol의 결합에너지를 보여 육불화황이 채워지는 것이 약간 더 안정함을 알 수 있었고 작은 동공의 경우 육불화황은 1.2 kcal/mol, 메탄은 -22.0 kcal/mol로 큰 크기의 육불화황이 작은 동공에는 채워질 수 없음을 보여주었다. 이와 같은 접근법은 향후 다양한 객체 기체 가스 하이드레이트의 성장거동을 예측하는데 적용될 수 있을 것이다.

• 설비공학논문집
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• 제6권1호
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• pp.54-65
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• 1994

Performance of naturally circulating cooling system of $SF_6$ gas charged transformer was simulated and the variations of gas flow rate, maximum coil temperature, gas temperature and cooling air temperature were investigated with respect to the height of radiator, interplates distance and heat generation rate at core. The results show that the height of radiator most significantly affects the performance of natural circulating cooling system of transformer.