Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.266-267
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2011
질화갈륨(GaN)은 높은 전자이동도 및 높은 항복전계를 가지며 낮은 온저항으로 인하여 에너지효율이 우수하기 때문에 고출력 전력소자 분야에서 많은 관심을 받고 있다. GaN을 이용한 고출력 전력소자의 경우 상용화 수준에 근접할 만한 기술적 진보가 있었으나, 페르미 레벨 고정(Fermi-level pinning) 현상, 소자의 누설전류 등 아직 해결되어야 할 문제를 갖고 있다. 본 연구에서는 실리콘 기판 위에 성장된 GaN 에피탁시를 활용한 고출력 전력소자의 누설전류를 억제시키기 위해 오믹 접합 중 Au의 상호확산을 억제하는 중간층 금속(Mo or Ni)을 변화시켰으며 오믹 열처리 온도에 따른 특성을 비교 연구하였다. $Cl_2$와 $BCl_3$를 이용하여 0.6 ${\mu}m$ 깊이의 메사 구조가 활성영역을 형성하였고, Si 도핑된 n-GaN 위에 Ti/Al/Mo/Au (20/100/25/200 nm) 와 Ti/Al/Ni/Au (20/100/25/200 nm) 오믹 접합을 각각 설계, 제작하였다. 오믹 열처리시의 GaN 표면오염을 방지하기 위해 $SiO_2$ 희생층을 증착하였다. 오믹 접합 형성을 위해 각 750$^{\circ}C$, 800$^{\circ}C$, 850$^{\circ}C$에서 30초간 열처리를 진행 하였으며, 이후 6 : 1 BOE 용액으로 $SiO_2$ 희생층을 제거하였다. 750, 800, 850$^{\circ}C$에서 Ti/Al/Mo/Au 구조의 오믹 접합 저항은 각 2.56, 2.34, 2.22 ${\Omega}$-mm 이었으며, Ti/Al/Ni/Au 구조의 오믹 접합 저항은 각 43.72, 2.64, 1.86 ${\Omega}$-mm이었다. Isolation 누설전류를 측정하기 위해서 두 개의 오믹 접합 사이에 메사 구조가 있는 테스트 구조를 제안하였다. Isolation 누설전류는 Ti/Al/Mo/Au 구조에서 두 오믹 접합 사이의 거리가 25 ${\mu}m$이고 100 V일 때 750, 800, 850 $^{\circ}C$의 열처리 온도에서 각 1.25 nA/${\mu}m$, 2.48 nA/${\mu}m$, 8.76 nA/${\mu}m$이었으며, Ti/Al/Ni/Au 구조에서는 각 1.58 nA/${\mu}m$, 2.13 nA/${\mu}m$, 96.36 nA/${\mu}m$이었다. 열처리 온도가 증가하며 오믹 접합 저항은 감소하였으나 isolation 누설전류는 증가하였다. 750$^{\circ}C$ 열처리에서 오믹 접합 저항은Ti/Al/Mo/Au 구조가 Ti/Al/Ni/Au 구조보다 약 17배 우수하였고, 850$^{\circ}C$ 고온의 열처리 경우 Ti/Al/Mo/Au 구조의 isolation 누설전류는 8.76 nA/${\mu}m$로 Ti/Al/Ni/Au의 누설전류 96.36 nA/${\mu}m$보다 약 11배 우수하였다. Ti/Al/Mo/Au가 Ti/Al/Ni/Au 보다 오믹 접합 저항과 isolation 누설전류 측면에서 전력용 GaN 소자에 적합함을 확인하였다.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.10
no.5
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pp.152-155
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2009
The microstructure and the electrical properties of a ZnO varistor, which was composed of a ZnO-$Bi_2O_3$-$Sb_2O_3$-CoO- $MnO_2$ -NiO-$Nd_2O_3$ system, were investigated at various $Y_2O_3$ addition concentrations. $Y_2O_3$ played a role in the inhibition of the grain growth. As the $Y_2O_3$ content increased, the average grain size decreased from $6.8{\mu}m$ to $4{\mu}m$, and the varistor voltage($V_{1mA}$) greatly increased from 275 to 400 V/mm. The nonlinearity coefficient ($\alpha$) decreased from 72 to 65 with increasing $Y_2O_3$ amount. On the other hand, the leakage current ($I_L$) increased from 0.2 to 0.9 ${\mu}A$. These results confirmed that doping the varistors with $Y_2O_3$ is a promising production route for production of a higher fine-grained varistor voltage ($V_{1mA}$) which can dramatically reduce the size of the varistors.
To reveal the spatial and temporal variability in the distribution, growth, and maturation of skipjack tuna Katsuwonus pelamis in the western tropical Pacific, we compared two El $Ni{\tilde{n}}o$-Southern Oscillation (ENSO) signals and the sea surface temperature (SST) in the main fishing area with fishery and biological data. An index of skipjack tuna distribution was calculated using Korean purse seine fishery data from 1985 to 2003. Biological data for skipjack tuna were collected monthly from Korean catches during the 1994-2003 period. The catch was more closely related to the SST in the main fishing area than to the ENSO signals. However, cross-correlated function analysis showed delayed interactions between abiotic and biotic factors. The El $Ni{\tilde{n}}o$ events preceded the eastward movement of the fishing center by 2-3 months. El $Ni{\tilde{n}}o$ had a positive effect on the skipjack tuna catch, and the change in the Southern Oscillation Index (SOI) preceded the catch fluctuation by ca. 5-7 months. In addition, negative El $Ni{\tilde{n}}o$ effects on gonad maturation and the mean length of skipjack tuna were detected with time lags of 12 and 7 months, respectively. The length frequency indicated that the regime-specific growth pattern at each discrete period seemed to be related to the ENSO.
Two-step thermochemical cycle using ferrite-oxide($Fe_3O_4$) device was investigated. The $H_2O$(g) was converted into $H_2$ in the first experiment which was performed using a dish type solar thermal system. However the experiment was lasted only for 2 cycles because the metal oxide device was sintered and broken down. Another problem was that the reaction was taken place mainly on a side of the metal oxide device. The $m-ZrO_2$, which was widely known as a material preventing sintering, was applied on the metal oxide device. The ferrite loading rate and the thickness of the metal oxide device were increased from 10.67wt% to 20wt% and from 10mm to 15mm, respectively. The chemical reactor having two inlets was designed in order to supply the reactants uniformly to the metal oxide device. The second-experiment was lasted for 5 cycles, which was for 6 hours. The total amount of the $H_2$ production was 861.30mL.
In the fields of the optics, precise machine, semiconducting processing, the micro-positioning actuators are required for the control of position in the submicron range. In this study, $Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3-Pb({Zn}_{1/3}Nb_{2/3})O_3-Pb({Zr}_{1/2}Ti_{1/2})O_3$ ceramics were fabricated by solid state reaction. The structural, dielectric and electric properties were investigated for sintering condition. The specimen sintered at $1,150(^\circ}C)$ for 1hr, had the highest density and dielectric contant. The resistivity, dielectric and density were increased with increasing PZN contents.
The oxidation behavior of Ni-6wt.% Cr alloys with various concentration of alumina dispersions(5vol.% 10vol.%) was determined at 1000 and 110$0^{\circ}C$ in oxygen of 1 atm. pressure. Some general observations were ascertained. These include: (a) the addition of alumina dispersoids significantly increased the oxidation resistance of Ni-6wt.% Cr alloy; (b) the rate of oxidation was distinctly decreased as a function of the volume percent of oxide dispersion; and (c) the presence of alumina dispersions promoted the formation of continous, protective Cr2O3 layer at 6 wt.% Cr.
CRUD specimens, scraped from twice-burned fuel cladding in the Korean Nuclear Power Plant, were analyzed using Shielded-EPMA. The principal elements of the CRUD were identified as Ni and Fe, at an approximate ratio of 1.3 Ni/Fe. To investigate the morphology and composition of the pure metallic materials in the CRUD, coolant impurities must be removed. This can be accomplished by increasing the EPMA current to an abnormally high intensity until the impurities are melted. Normally, EPMA applications are performed at conditions of 20 kV voltage and 20 nA current. But in our study, the applied current was increased up to 1200 nA, over time increments ranging from 5 to 30 seconds. This technique was performed by opening an adjustable aperture for the gun alignment. Results showed impurities contained in the CRUD material disappeared and pure metal materials, e.g., Ni and Fe, remained. This method presents an innovative way to analyze CRUD.
Ni0.3Zn0.7Fe2O4 ferrite specimens were fabricated by dry pressing and tape casting method. The properties of each specimen were measured and compared. In order to design and manufacture the chip devices effectively, one important criterion can be that the sintered density of the laminated body should approach close to that of the dry pressed body which is regarded as standard. This requirement could be satisfied by controlling the solid loading of the ferrite sheet, lamination temperature and pressure. Using the optimum conditions (solid loading 55 wt%, lamination temperature 6$0^{\circ}C$, lamination pressure 400 kg/$\textrm{cm}^2$, sintered at 125$0^{\circ}C$ 2h) a sintered ferrite, with the density of 5.18g/㎤ and permeability of 1390 at 0.5 MHz, were obtained.
Aeration with low energy micro-bubble generation and $UV/H_2O_2$ processes was introduced to verify the possibility of oxidation treatment for acid mine drainage. During 10 hours of aeration with micro-bubbles, Fe and As concentrations were decreased to 18.1 and 61.8%, respectively, while Cu, Cd, Al were kept at influent concentrations. Other heavy metals such as Mn, Cr, Pb, Zn, and Ni concentrations fluctuated due to the repetition of oxidation and release. Twenty days of aeration indicated the oxidation possibility for Cu, Cd, and Al. With the employment of $UV/H_2O_2$ processes, more than 77% of Cu and Fe removed, whereas slightly more than 30% of Cd and Al removed.
Coastal sediments collected near the Youngkwang Nuclear Power Plant were analysed for major(Al$_2$O$^_3$, Fe$^_2$O$^_3$, MgO, CaO, Na$^_2$O, K$^_2$O, TiO$^_2$, MnO), trace (Ba, Sr, V, Co, Cr, Cu, Ni, Zn, Pb) metal, and P$^_2$O$^_5$ contents. The composition of bulk metals from most stations fits within the range as those in the average crustal and sedimentary rocks, suggesting that the anthropogenic perturbation of these components is insignificant. The abundance and distribution of total contents for the majority of metals in the surface sediment could be explained by the grain size and were associated with mud (<63 ${\mu}$m) contents. However, distributions of Ca, K, Sr and Ba did not have any significant association with the sediment grain size. This may be due to the geochemical coherence among these metals in certain minerals abundant in coarse grained fractions. The distribution of Pb appears to be partly affected by the contribution from aerosol fallout. Using the R'-mode factor analysis, we show that the variance of the metal contents could be explained by four factors which account for 93.7% of the total variance. It appears that texturally controlled and/or sorting factors influenced by fine fraction are the most dominant factors which determine the relative abundance and distribution of metals in the study area.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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