• 제목/요약/키워드: $FT_1$

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Effects of Neutral Particle Beam on Nano-Crystalline Silicon Thin Film Deposited by Using Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition at Room Temperature

  • Lee, Dong-Hyeok;Jang, Jin-Nyoung;So, Hyun-Wook;Yoo, Suk-Jae;Lee, Bon-Ju;Hong, Mun-Pyo
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.254-255
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    • 2012
  • Interest in nano-crystalline silicon (nc-Si) thin films has been growing because of their favorable processing conditions for certain electronic devices. In particular, there has been an increase in the use of nc-Si thin films in photovoltaics for large solar cell panels and in thin film transistors for large flat panel displays. One of the most important material properties for these device applications is the macroscopic charge-carrier mobility. Hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) or nc-Si is a basic material in thin film transistors (TFTs). However, a-Si:H based devices have low carrier mobility and bias instability due to their metastable properties. The large number of trap sites and incomplete hydrogen passivation of a-Si:H film produce limited carrier transport. The basic electrical properties, including the carrier mobility and stability, of nc-Si TFTs might be superior to those of a-Si:H thin film. However, typical nc-Si thin films tend to have mobilities similar to a-Si films, although changes in the processing conditions can enhance the mobility. In polycrystalline silicon (poly-Si) thin films, the performance of the devices is strongly influenced by the boundaries between neighboring crystalline grains. These grain boundaries limit the conductance of macroscopic regions comprised of multiple grains. In much of the work on poly-Si thin films, it was shown that the performance of TFTs was largely determined by the number and location of the grain boundaries within the channel. Hence, efforts were made to reduce the total number of grain boundaries by increasing the average grain size. However, even a small number of grain boundaries can significantly reduce the macroscopic charge carrier mobility. The nano-crystalline or polymorphous-Si development for TFT and solar cells have been employed to compensate for disadvantage inherent to a-Si and micro-crystalline silicon (${\mu}$-Si). Recently, a novel process for deposition of nano-crystralline silicon (nc-Si) thin films at room temperature was developed using neutral beam assisted chemical vapor deposition (NBaCVD) with a neutral particle beam (NPB) source, which controls the energy of incident neutral particles in the range of 1~300 eV in order to enhance the atomic activation and crystalline of thin films at room temperature. In previous our experiments, we verified favorable properties of nc-Si thin films for certain electronic devices. During the formation of the nc-Si thin films by the NBaCVD with various process conditions, NPB energy directly controlled by the reflector bias and effectively increased crystal fraction (~80%) by uniformly distributed nc grains with 3~10 nm size. The more resent work on nc-Si thin film transistors (TFT) was done. We identified the performance of nc-Si TFT active channeal layers. The dependence of the performance of nc-Si TFT on the primary process parameters is explored. Raman, FT-IR and transmission electron microscope (TEM) were used to study the microstructures and the crystalline volume fraction of nc-Si films. The electric properties were investigated on Cr/SiO2/nc-Si metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitors.

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약물 및 유전자 전달체로 응용하기 위한 Poly(L-Lysine)이 결합된 O-Carboxymethyl Chitosan PEG의 제조와 특성 (Preparation and Characterization of O-Carboxymethyl Chitosan Ion-complexed Poly(L-Lysine) for Drug and Gene Delivery System)

  • 남정표;김영민;박진수;이응재;최창용;장미경;나재운
    • 공업화학
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    • 제21권6호
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    • pp.643-647
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    • 2010
  • 키토산의 응용성을 높이기 위해 제조된 O-carboxymethyl water soluble chitosan (OCMCh)의 구조에 인체 내 순환시간을 증가시키기 위하여 PEG를 도입하였으며, 약물 및 유전자 전달체로 응용하기 위하여 PEG가 결합된 OCMCh-PEG를 Poly(L-Lysine) (PLL)과 이온복합체를 형성함으로써 OCMCh-PEG-PLL를 제조하였다. 제조된 OCMCh-PEG-PLL의 물리화학적특성은 적외선 분광광도계와 핵자기공명장치를 이용하여 분석하였으며, 성공적으로 PLL이 결합되었음을 확인하였다. 또한 동적광산란장치와 투과전자현미경을 통하여 PLL의 양을 고정하였을 때, PEG의 양이 증가함에 따라 입자의 크기가 감소하는 것을 볼 수 있었으며, 구형의 입자형태를 가지는 것을 확인할 수 있었다. 이상의 결과는 OCMCh-PEG-PLL이 약물 및 유전자 전달체 등과 같은 생체재료로의 응용 가능성을 가지는 것을 볼 수 있다.

결정화 소결에 의한 생체활성재료의 제조 (Preparation of bioactive materials by crystallization sintering)

  • 명중재;이안배;정용선;신건철;김호건
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.169-178
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    • 1998
  • CaO-$SiO_2-P_2O_5$ 3성분계 유리화 영역(glass forning region)내의 여러조성(A:$SiO_2$- rich조성, B:CaO-rich조성, C:$P_2O_5$-rich조성, D, E:A, B, C의 중간조성)을 가지는 유리분말을 결정화시켰을 때 유리중에 석출되는 결정상(crystal phase)을 분말 XRD로 확인하였다. 여러조성중 apatite(($Ca_{10}(PO_4)_6O$)와 $\beta$-wollastonite($CaSiO_3$)결정이 석출되고, 굽힘강도가 우수한 E조성(CaO 49.4, $SiO_2\;36.8,\;P_2O_5$8.8wt%)을 선택하여 이 조성의 유리분말을 일방향으로 결정화 소결하였다. 제조된 결정화 소결체에 대하여 charaterization을 하고 굽힘강도를 측정하였다. 또한 결정화 소결체와 생체뼈와의 결합성을 조사하기 위하여 유사체액(simulated body fluid)내에서 침적실험을 하였으며, 결정화 소결체의 표면을 thin-film XRD, FT-IR로 분석하였다. 실험결과, apatite와 wollastonite 결정이 석출된 치밀한 결정화 소결체가 얻어졌으며, 이들 결정은 wollastonite 결정의 (202)면이 인상방향에 수직으로 성장하는 경향을 보였다. 또한 제조된 결정화 소결체는 평균 186.9MPa의 굽힘강도를 나타내어 일반적 방법으로 제조되는 결정화 소결체보다 높은 역학적 성질을 보였다. 유사체액내의 침적실험결과, 시료표면위에 apatite 결정층이 3일후부터 형성되어 생체뼈와 화학결합을 이룰 가능성이 있음을 알았다.

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제지공정 침착이물질 및 종이내 불순물 성분의 기기분석 (Instrumental Analysis of Deposits on Paper Machine and Holes/Spots in Paper)

  • 마금자;이복진
    • 공업화학
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    • 제9권1호
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    • pp.135-140
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    • 1998
  • 제지공정 트러블을 일으키는 침착물과 제품의 품질을 저하시키는 종이내 불순물들의 성분을 기기분석하였다. 우선적으로 퓨리에변환 적외선분광기(FT-IR spectrometer)를 이용하여 이물질의 원형 그대로를 측정하여 예비정보를 얻은 뒤 열분해-가스크로마토그래피-질량분석기(Py-Gc/MS)를 이용해서 불순물들의 유기성분을 분석하였으며, $590^{\circ}C$에서 열분해시키고 난 ash는 에너지분산분광법(EDS)을 이용하여 무기성분을 분석하였다. 초지기 건조부에 침착된 성분은 지방산 에스테르 및 전분 등의 유기 이물질과 탈크, 크레이, 탄산칼슘 등의 무기 이물질로 이루어진 복합적인 피치형태로써 재사용 도공파지 성분에 의한 것이며, 심사이저 메터링로드에 끼인 침착물은 불안정한 alkyl keten dimer(AKD) 성분이 탄산칼슘과 상호작용하여 침착을 일으킨 것으로 분석되었다. 종이내 구멍 성분은 주원료로 사용되는 펄프에서 혼입된 것으로 판단되는 PE및 PP 성분과 초지공정에 사용된 주 부원료들간의 불안정한 상호작용에 의해 응집된 복합적인 피치성분으로 확인되었다. 작업상의 부주의로 완정공정에서 사용되는 hot melt 및 파렛트 받침대로 사용되는 가소제를 첨가하여 유연하게 만든 PVC 성분이 재사용 파지와 함께 혼입되어 종이내 얼룩 및 반점 등을 발생시키기도 하며, 초지기 용구로 사용되는 고분자 물질(와이어 또는 펠트)의 일부가 사고 등에 의해 공정중에 혼입되어 도공시 스트리크를 발생시킬 수도 있음을 알 수 있었다.

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무신호 교차로의 안전 -서비스 수준 측정에 관한 연구- (DEVELOPMENT OF SAFETY-BASED LEVEL-OF-SERVICE PARAMETERS FOR TWO-WAY STOP-CONTROLLED INTERSECTIONS)

  • 이수범
    • 대한교통학회:학술대회논문집
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    • 대한교통학회 1996년도 제29회 학술발표회
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    • pp.59-86
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    • 1996
  • Current methods for evaluating unsignalized intersections, and estimating level-of-service (LOS) is determined from efficiency-based criteria such as little or no delay to very long delays. At present, similar procedures to evaluate intersections using safety-based criteria do not exist. The improvement of sight distances at intersections is the most effective way of improving intersection safety. However, a set of procedures is necessary to account for the limitations in current methodology. Such an approach would build upon such methods, but also account for: deficiencies in the current deterministic solution for the determination of intersection sight distances; opportunity for an accident and severity of an accident; and cost-effectiveness of attaining various levels of sight distances. In this research, a model that estimates the degree of safety at two-way stop-controlled intersections is described. Only crossing maneuvers are considered in this study because accidents caused by the crossing maneuvers are the dominate type among intersection accidents. Monte Carlo methods are used to estimate the hazard at an intersection as a function of roadway features and traffic conditions. Driver`s minimum gap acceptance in the crossing vehicles and headway distribution on the major road are used in the crossing vehicles and headway distribution on the major road are used in the model to simulate the real intersectional maneuvers. Other random variables addressed in the model are: traffic speeds; preception-reaction times of both drivers in the crossing vehicles and drivers in oncoming vehicles on the major road; and vehicles on the major roads. The developed model produces the total number of conflicts per year per vehicle and total potential kinetic energy per year per vehicle dissipated during conflicts as measurements of safety at intersections. Based on the results from the developed simulation model, desirable sight distances for various speeds were determined as 350 feet, 450 feet and 550 feet for 40 mph, 50 mph and 60 mph prevailing speed on the major road, respectively. These values are seven to eight percent less than those values recommended by AASHTO. A safety based level-of-service (LOS) is also developed using the results of the simulation model. When the total number of conflicts per vehicle is less than 0.05 at an intersection, the LOS of the intersection is `A' and when the total number of conflicts per vehicle is larger than 0.25 at an intersection, the LOS is `F'. Similarly, when the total hazard per vehicle is less than 350, 000 1b-ft2/sec2, the LOS is `F'. Once evaluation of the current safety at the intersection is complete, a sensitivity analysis can be done by changing one or more input parameters. This will estimate the benefit in terms of time and budget of hazard reduction based upon improving geometric and traffic characteristics at the intersection. This method will also enable traffic engineers in local governments to generate a priority list of intersection improvement projects.

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항균성 Ag-30CaO·70SiO2 Gel의 MC3T3 세포적합성에 관한 연구 (Evaluate the Suitability of MC3T3 Cells to Antibacterial Ag-30CaO·70SiO2 Gel)

  • 윤금재;류재경;안응모;김윤종;김택남;노인섭;조성백
    • 한국재료학회지
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    • 제24권12호
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    • pp.671-676
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    • 2014
  • It is known that bones get damaged by accidents and aging. Since the discovery of Bioglass, various kinds of ceramics have been also found to bond to living bone; some of these ceramics are already being clinically used as bone-repairing materials. In the present study, antibacterial calcium silicate gel ($Ag-30CaO{\cdot}70SiO_2$ gel) was prepared by sol-gel method in order to control the microstructure, which is related to the dissolution rate and induction period of apatite formation in body environment. In addition, biological $Ag-30CaO{\cdot}70SiO_2$ is tested. This was done to impart antimicrobial activity to the $30CaO{\cdot}70SiO_2$. Ag ion was added during sol-gel synthesis to replace the $H_2O$ added during the making of the $30CaO{\cdot}70SiO_2$ gel, which has silver solutions of various concentration. After the sol-gel process, 1N-$HNO_3$ solution was used to wash the gel when synthesizing the gel, in order to maintain the porous structure and remove PEG, water soluble polymers. Then, the apatite forming ability of the sol-gel derived CaO-$SiO_2$ gels was investigated using simulated body fluid (SBF), which had almost the same ion concentration as that of human blood plasma. The gels were analyzed by FT-IR spectroscopy, SEM observation, XRD, and fluorescent microscopy. The apatite was successfully created even after washing the gel; apatite is present in an amorphous state, and was found to affect the concentration of the Ag ion in cells in MC3T3 live & dead assay results. From these results, it is suggested that a good material that can be used to repair defects of nature bone is $Ag-30CaO{\cdot}70SiO_2$ gel.

$N_2/CH_4$가스비에 따른 Hydrogenated Amorphous Carbon Nitride 박막의 특성 (Hydrogeneted Amorphous Carbon Nitride Films on Si(100) Deposited by DC Saddle Field Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

  • 장홍규;김근식;황보상우;이연승;황정남;유영조;김효근
    • 한국진공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.242-247
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    • 1998
  • DC saddle-field-plasma-enhanced chemical-vapor deposition(PECVD) 장치를 이용 하여 상온에서 p-type Si(100)기판위에 hydrogenated amorphous carbon nitride [a-C:H(N)] 박막을 증착하였다. 원료가스인 $CH_4$$N_2$의 전체압력은 90mTorr로 고정하고 $N_2/CH_4$비를 0 에서 4까지 변화하면서 제작한 a-C:H(N)박막의 미세구조의 변화를 연구하였다. 진공조의 도달 진공도는 $1\times10^{-6}$Torr이고, 본 실험시 $N_2+CH_4$가스의 유량은 5sccm으로 고정하고 배 기량을 조절하여 진공조의 가스 압력을 90mTorr로 고정하였으며 기판에 200V의 직류 bias 전압을 인가하였다. $\alpha$-step과 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)를 이용한 분석결과 $N_2/CH_4$비가 0에서 0.5로 증가함에 따라 박막 두께는 4840$\AA$에서 2600$\AA$으로 급격히 감소하 였으며, 박막내의 탄소에 대한 질소함유량(N/C비)는 N2/CH4비가 4일 때 최대 0.25로 증가하 는 것을 확인하였다. 또한 XPS 스펙트럼의 fitting 결과 $N_2/CH_4$비가 증가할수록 CN결합이 증가하였다. Fourier Transformation Infrared(FT-IR) 분석결과 $N_2/CH_4$비가 증가함에 따라 박막내의 C-H결합은 감소하고, N-H, C≡N결합은 증가하였다. Optical bandgap 측정 결과 $N_2/CH_4$비가 0에서 4로 증가함에 따라 a-C:H(N)박막의 bandgap 에너지는 2.53eV에서 2.3eV 로 감소하는 것을 확인하였다.

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가상통화를 활용한 테러자금조달 위협 분석과 국내 대응방안에 관한 연구 (A Study on the Analysis of the Potential FT(Financing of Terrorism) Threat Using Virtual Currencies and Its Response)

  • 강태호;차장현;김건인
    • 시큐리티연구
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    • 제62호
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    • pp.9-33
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    • 2020
  • 본 논문은 가상통화의 특성을 활용한 테러자금조달에 대한 잠재적 위협을 분석하기 위한 것이다. 이를 위해 기존 테러자금조달 위협과 가상통화 관련법 및 제도를 분석하고 가상통화를 활용한 테러자금조달에 대한 사례를 통해 잠재적 위협을 도출하였다. 가상통화가 등장하기 이전 국내에서 가상통화를 활용한 테러자금조달 위협은 높지 않으나, 가상통화가 활성화되기 시작한 '15년 이후 많은 해외 테러조직과 북한 등 테러지원국에서는 가상통화를 간접적으로 모금하거나 해킹 등을 통해 직접 테러자금을 조달하고 있는 실정이다. 특히, 국내는 가상통화의 근거법이 부재한 상황으로, 이로 인해 현재 법령과 제도 그리고 실질적 대응 체계에 분명한 문제가 식별되었다. 이를 보완하기 위해 본 논문에서는 관련 사례들을 분석하고, 분석된 사례들을 토대로 제도적 대응방안과 기술적 대응방안을 제시하였다. 가상통화는 새롭게 등장한 개념으로 기존 제도권 안에서 모든 문제를 해결할 수는 없다. 때문에 우리는 현재의 한계점을 인정하고 이를 개선하기 위한 제도적·기술적 노력을 다해 나가야 한다.

Effects of incorporation of 2.5 and 5 wt% TiO2 nanotubes on fracture toughness, flexural strength, and microhardness of denture base poly methyl methacrylate (PMMA)

  • Naji, Sahar Abdulrazzaq;Behroozibakhsh, Marjan;Kashi, Tahereh Sadat Jafarzadeh;Eslami, Hossein;Masaeli, Reza;Mahgoli, Hosseinali;Tahriri, Mohammadreza;Lahiji, Mehrsima Ghavvami;Rakhshan, Vahid
    • The Journal of Advanced Prosthodontics
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    • 제10권2호
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    • pp.113-121
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    • 2018
  • PURPOSE. The aim of this preliminary study was to investigate, for the first time, the effects of addition of titania nanotubes ($n-TiO_2$) to poly methyl methacrylate (PMMA) on mechanical properties of PMMA denture base. MATERIALS AND METHODS. $TiO_2$ nanotubes were prepared using alkaline hydrothermal process. Obtained nanotubes were assessed using FESEM-EDX, XRD, and FT-IR. For 3 experiments of this study (fracture toughness, three-point bending flexural strength, and Vickers microhardness), 135 specimens were prepared according to ISO 20795-1:2013 (n of each experiment=45). For each experiment, PMMA was mixed with 0% (control), 2.5 wt%, and 5 wt% nanotubes. From each $TiO_2$:PMMA ratio, 15 specimens were fabricated for each experiment. Effects of $n-TiO_2$ addition on 3 mechanical properties were assessed using Pearson, ANOVA, and Tukey tests. RESULTS. SEM images of $n-TiO_2$ exhibited the presence of elongated tubular structures. The XRD pattern of synthesized $n-TiO_2$ represented the anatase crystal phase of $TiO_2$. Moderate to very strong significant positive correlations were observed between the concentration of $n-TiO_2$ and each of the 3 physicomechanical properties of PMMA (Pearson's P value ${\leq}.001$, correlation coefficient ranging between 0.5 and 0.9). Flexural strength and hardness values of specimens modified with both 2.5 and 5 wt% $n-TiO_2$ were significantly higher than those of control ($P{\leq}.001$). Fracture toughness of samples reinforced with 5 wt% $n-TiO_2$ (but not those of 2.5% $n-TiO_2$) was higher than control (P=.002). CONCLUSION. Titania nanotubes were successfully introduced for the first time as a means of enhancing the hardness, flexural strength, and fracture toughness of denture base PMMA.

Carbon Black 표면에의 아크릴레이트 및 메타크릴레이트의 그라프트 중합에 관한 연구 (Study on Graft Polymerization of Acrylate and Methacrylate Monomers onto the Carbon Black Surface)

  • 구형서;장병권;김용무;최규석
    • 공업화학
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    • 제5권3호
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    • pp.395-405
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    • 1994
  • Carbon black(이하 CB로 약함) 표면에 존재하는 각종 작용기(-OH, OC,<-COOH)를 n-butyl lithium을 반응활성화제로 활성화시킨 후 아크릴레이트 및 메타크릴레이르 단량체들을 음이온 그라프트 중합하여 CB-그라프트 생성물을 얻었다. 이 CB-그라프트 생성물을 비용매를 이용한 침전법과 원심분리기를 사용하여 호모폴리머를 분리시켜 반응시간과 온도에 따른 그라프트 효율 등을 구한 결과, CB-polyacrylates의 경우 그라프트율이 20~30% 정도로 낮았지만 CB-polymethacrylate의 경우 150~200% 정도의 매우 높은 그라프트율의 CB- grafted polymer를 얻을 수 있었다. 또한, 각 반응온도에서 CB와 단량체들의 음이온 중합은 대체로 1~2시간 정도에서 평형상태를 이루었으며, 온도가 높아짐에 따라 전환율과 그라프트율은 약간의 증가를 보였다. 콜로이드 분산성 시험을 한 결과 열건조 전에는 각 호모폴리머의 양용매 중에서 매우 안정한 분산성을 나타냈으며, 열건조 후에도 CB-polymethacrylate의 경우에는 대부분의 polymethacrylate 양용매에 대해 매우 양호한 안정성을 보였다. CB 표면에서의 그라프트 중합체의 확인은 적외선 스펙트럼에 의해 행하였다. Four-probe 방법에 의한 CB-grafted polymer의 저항값 측정에서는 그라프트율이 높을수록 저항값이 증가함을 알 수 있었다.

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