Cl$_2$ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성
(The Etching Properties of SBT Thin Films in Cl$_2$ Inductively Coupled Plasma)
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- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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- 제50권5호
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- pp.211-215
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- 2001