($CF_4/Ar$ 플라즈마를 이용한 $Bi_4-xLaxTi_3Ol_2$ 박막의 식각 특성
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회 초록집
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- pp.203-203
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- 2002