RF-magnetron sputtering 방법으로 제조한 $BaTa_2O_6$ 박막의 특성과 응용에 관한 연구
(Study on the characteristics and application of the $BaTa_2O_6$ films prepared by rf-magnetron sputtering technique)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1133-1136
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- 1995