자화 유도 결합 $C_2/BCl_3/O_2, Cl_2/BCl_3/N_2$ 플라즈마를 이용한 III-nitrides 식각특성에 관한 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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- pp.243-243
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- 1999