• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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• pp.772-775
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• 2004

본 논문에서는 $B_2O_3$ 첨가가 Ba$(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ (BMT)의 유전특성 및 미세구조의 변화에 미치는 영향에 대해 연구하였다 $B_2O_3$가 소량 첨가되었을 때는 결정립의 성장을 야기하여 치밀한 미세구조를 보였지만, 다량이 첨가된 경우 비정상 결정립 성장을 야기하여 치밀화가 떨어지는 미세구조를 보임과 동시에 $Ba_3Ta_5O_{15}$의 2차상을 형성했다. 이는 소량의 $B_2O_3$ 첨가가 유전특성의 향상을 가져왔지만, 다량의 첨가는 오히려 특성의 악화를 가져온 결과의 원인이라 생각된다. 0.5mol%의 $B_2O_3$를 첨가하여 $1500^{\circ}C$에서 6시간 소결한 경우 ${{\varepsilon}_r}=24$, $Q{\times}f=210,000GHz$의 유전 특성 값과 $4.74ppm/^{\circ}C$의 $T_{cf}$ 값을 얻었다.

• 한국광물학회:학술대회논문집
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• 한국광물학회.한국암석학회 2003년도 공동학술발표회 논문집
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• pp.67-67
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• 2003

The chemical compositions and textural relationships of the Nb-Zr oxide minerals including pyrochlore [ideally (Ca,Na)$_2$Nb$_2$O$\sub$6/(OH,F), with up to 24% UO$_2$ and 16% Ta$_2$O$\sub$5/] and baddeleyite [ideally ZrO$_2$, with up to 6% Nb$_2$O$\sub$5/] in the Sokli carbonatite complex, Kola Peninsula, Arctic are described. These two minerals in carbonatites are the major hosts for the HFSEs such as U, Th, Ta, Nb, Zr and Hf and thus are interest both economically and petrologically. The Sokli carbonatite complex (360-370 Ma) in Northern Finland, which forms a part of the Paleozoic Kola Alkaline Province (KAP), is mainly composed of multi-stages of carbonatite and phoscorite associations (P1-C1 P2-C2, P3-C3, D4 and D5) surrounded by altered ultramafic rocks (olivinite and pyroxenite) and cut by numerous small dikes of ultramafic lamprophyre. The Sokli complex contains the highest concentration in niobium and probably in tantalum, which are economically very important to modern steel technology, among the ultramafic-alkaline complexes of the KAP. Pyrochlore and baddeleyite mostly concentrate in the phoscorites. Pyrochlores in the Sokli complex are generally rounded octahedra and cubes in shape, red brown to grey yellow in color, and 0.2 to 5 mm in size. They are found in all calcite carbonatites, phoscorites and dolomite carbonatites, except P1-C1 rocks. These pyrochlores display remarkable zonations which depend on host rock compositions, and have significant compositional variations with evolution of the Sokli complex. The common variation scheme is that (1) early pyrochlore is highly enriched in U and Ta; (2) these elements decrease abruptly in the intermediate stage, while Th and Ce increase, and (3) late stage pyrochlore is low in U, Ta, Th, and Ce, and correspondingly high in Nb. Baddeleyites in the Sokli complex occur in the early P1-C1 and P2-C2 rocks and rarely in P3. They crystallized earlier than pyrochlores, and occasionally show post-magmatic corrosion and replacement. The FeO and TiO$_2$ contents of baddeleyites are much lower than those of the other terrestrial and lunar baddeleyites, whereas Nb$_2$O$\sub$5/ and Ta$_2$O$\sub$5/ contents are the highest among the reported compositions. Ta/Nb and Zr/Nb ratios of pyrochlores and baddeleyites decrease towards later stage facies, which is in accordance with the whole rock compositions. The variation of Ta/Nb and Zr/Nb ratios of pyrochlores and baddeleyites is considered to be a good indicator to trace an evolution of the carbonatite complexes.

• 한국세라믹학회지
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• 제47권5호
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• pp.461-466
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• 2010

In this study, $Al_2O_3/TaAlO_4/SiO_2$ (A/TAlO/S) structures with tantalum aluminate charge trap layer were fabricated for Nand flash memory device. We evaluated the memory window and retention characteristic as the thickness of the tunnel oxide was varied among 3 nm, 4 nm, and 5 nm. All tunnel oxide thicknesses were measured by ellipsometer and TEM (Transmission Electron Microscope). The A/TAlO/S multi-layer film consisted of 5 nm tunnel oxide showed the best result of memory window of 1.57 V and retention characteristics. After annealing the 5 nm tunnel oxide A/TAlO/S multi-layer film at $900^{\circ}C$. The memory window decreased to 1.32 V. Moreover, the TEM images confirmed that the thickness of multi-layer structure decreased 14.3% after annealing and the program conditions of A/TAlO/S multi-layer film decreased from 13 V to 11 V for 100 ms. Retention properties of both as-deposited and annealed films stably maintained until to $10^4$ cycles.

• 한국재료학회지
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• 제10권4호
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• pp.290-294
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• 2000

ZnS:Mn TFEL device를 전자선 진공증착법으로 제작하여 전기광학적 특성에 관하여 조사하였다. $Ta_2O_5$ 박막의 산소 결핍에 따른 정전용량을 측정하기 위하여 산소분위기에서 열처리에 따른 AES(Auger electron spectroscopy)와 C-F를 측정하였다. 제작한 EL 소자의 전기장 발광 파장은 550~650nm 였으며 이것은 $Mn^{2+}$ 이온의 $3d^5$ 여기준위인 $^4T_1(^4G)$ 에서 $3d^5$ 기저준위인 $^6A_1(^S)$로의 내각전자전이 피크이다. 열처리를 수행하지 않은 $Ta_2O^5$를 절연층으로 사용한 EL 소자의 발광시작전압은 24~28V이고 색도 좌표값 X=0.5151, Y=0.4202인 황등색 발광을 하였다. $Ta_2O_5$를 절연층으로 사용한 소자가 저전압에서 구동이 가능하므로 EL 소자의 실용화가 기대된다.

• 센서학회지
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• 제4권3호
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• pp.80-88
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• 1995

본 논문에서는 Al 및 TiW 금속을 상하층 전극으로 사용하고 이들 금속사이에 절연물이 존재하는 금속-절연물-금속(metal-insulator- metal : MIM) 구조의 안티휴즈 소자를 만들고 금속층간 절연물의 성질에 따른 안티휴즈 특성에 대하여 연구하였다. 금속층간 절연물로는 R.F 스퍼터링법에의해 형성된 실리콘 산화막과 탄탈륨 산화막으로 구성된 이층 절연물을 사용하였다. 이러한 안티휴즈 구조에서 실리콘 산화막은 프로그램 전의 안티휴즈 소자를 통해 흐르는 누설전류를 감소시켰으며, 실리콘 산화막에 비해 절연 강도가 낮은 탄탈륨 산화막은 안티휴즈 소자의 절연파괴전압을 저 전압으로 낮추는 역할을 하였다. 최종적으로 제조된 $Al/Ta_{2}O_{5}(10nm)/SiO_{2}(10nm)/TiW$ 구조에서 1 nA 이하의 누설전류와 약 9V의 프로그래밍 전압을 갖고 수 초내에 프로그램이 완성되는 전기적 특성이 안정된 안티휴즈 소자를 제조하였다. 그리고 이때 소자의 OFF 및 ON 저항은 각각 $3.65M{\Omega}$ 및 $7.26{\Omega}$이었다. 이와 같은 $Ta_{2}O_{5}/SiO_{2}$ 구조에서 각 절연물의 두께를 조절함으로써 측정 전압에 민감하고 재현성 있는 안티휴즈 소자를 제조할 수 있었다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1994년도 춘계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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• pp.99-99
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• 1994

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 1998년도 추계종합학술대회 논문집
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• pp.605-608
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• 1998

In this paper, we have investigated the pyroelectric characteristics of the $20\mu\textrm{m}-thick$ $LiTaO_3$ single crystal with black coating by using the nondestructive dynamic method. The $LiTaO_3shows$ the maximum pyroelectric coefficient (${\gamma}$) of $1.56$\times$10-8C/\textrm{cm}^2K$ at 40Hz and the responsivity (Rv) is 488V/W at 2Hz. The noise equivalent power (NEP) is obtained as 3.95$\times$10-10W/√Hz at 40Hz. The detectivity (D*) is obtained divided by the sample area and estimated to be 5.6$\times$108cm√Hz/W at 40Hz. These results, shows that the $LiTaO_3$ single crystals are the best candidates to pyroelectric IR sensors.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권3호
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• pp.229-236
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• 1998

Ferroelectric $Sr_xBi_yTa_2O_{9+\alpha}$/(0.7$\leqSr\leq1.0,\; 2.0\leqBi\leq2.6)$ solutions were prepared by MOD (Metalorganic Deposition) process. These solutions were made into thin films with thickness ranging from 1500~2000${\AA}$ by spin coating. The phase transformation of the SBT thin films by variation of annealing temperature and annealing time were observed using high temperature XRD and SEM. The crystallization and grain growth of SBT thin film were accomplished at $800^{\circ}C$ for 30 minutes after deposition of Pt top electrode by sputtering to prevent electrical breakdown. Ferroelectric properties of the SBT thin films were measured in the range of $\pm$3V\; and\; \pm5V$. The specimen with composition ratio of Sr/Bi/Ta (0.8/2.4/2.0) has the excellent ferroelectric properties ; $2P_r = 10.5,\; 13.2\muC/cm^2 \;at\; \pm3V\; and\; \pm5V$ respectively. Observing the post annealed Pt/SBT/Pt interface by SEM, it was found that Pt electrode sputtered on to the SBT thin film penetrated into the hollow on the SBT thin film, thus decreasing the effective insulation thickness. The effective insulation thickness recovered by post annealing, and this was confirmed by leakage current density measurement.

• 한국재료학회지
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• 제7권5호
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• pp.381-385
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• 1997

PEMOCVD에 의해서 SrBi$_{2}$Ta$_{2}$O$_{9}$밥막이 낮은 온도에서 성공적으로 Pt/Ti/SiO$_{2}$Si위에 증착되었다. 5$50^{\circ}C$에서 증착된 200nm박막은 치밀하고 작은 결정립을 보였으며 3V의 인가전압하에서 이력곡선은 포화되기 시작하였다. 3V에서 박막은 잔류분극 (P$_{r}$)과 항전계(E$_{c}$)는 각각 15$\mu$/$\textrm{cm}^2$과 50kV/cm이었다. 6V bipolar square pulse의 피로측정에서 박막은 1.0x$10^{11}$cycles까지 피로 현상을 보이지 않았다. PEMOCVD에 의해서 5$50^{\circ}C$에서 증착된 SBT박막은 비휘발성 기억소자에 충분히 활용할 수 있다.다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.167-168
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• 2009

Phase pure barium magnesium tantalate $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$(BMT) nanopowders were synthesized at temperature as low as $220^{\circ}C$ through glycothermal reaction by using $Ba(OH)_2{\cdot}8H_2O$, $Mg(NO_3){\cdot}6H_2O$, and $TaCl_5$ as precursors and 1,4-butandiol as solvent. XRD, SEM, and TGA data support that glycothermal processing method provides a simple low temperature route for producing fine grained BMT nanopowders without alkaline mineralizers. BMT nanopowders synthesized at $220^{\circ}C$ showed more homogenous with rounded morphologies.