Acknowledgement
본 연구는 중소기업청 기술혁신사업(S3152379, 대형(1 m × 2 m급 이상) CIP 장비를 활용한 반도체 에칭 공정용 저 유전손실을 갖는 500 mm 급 고밀도 세라믹 Isolator 국산화 기술 개발)에 의해 수행되었습니다.
References
- Y. Meng, G. Gong, D. Wei, Y. Xie and Z. Yin: Ceram Int., 40 (2014) 10677.
- R. H. Piva, P. Vilarinho, M. R. Morelli, M. A. Fiori and O. R. K. Montedo: Ceram Int., 39 (2013) 7323.
- J. M. Amigo, F. J. Serrano, M. A. Kojdecki, J. Bastida, V. Esteve, M. M. Reventos and F. Marti: J. Eur. Ceram. Soc., 25 (2005) 1479.
- M. Touzin, D. Goeuriot, C. Guerret-Piecourt, D. Juve and H. J. Fitting: J. Eur. Ceram. Soc., 30 (2010) 805.
- N. A. Andreeva and S. S. Ordan'yan: Refract. Ind. Ceram., 44 (2003) 277.
- M. Sathiyakumar and F. D. Gnanam: J. Mater. Process Technol., 133 (2003) 282.
- K. Kim, S. H. Baik and S. S. Ryu: J. Powder Mater., 25 (2018) 494.
- D. C. N. Fabris, M. B. Polla, J. Acordi, A. L. Luza, A. M. Bernardin, A. D. NoniJr. and O. R. K. Montedo: Mater. Sci. Eng. A, 781 (2020) 139237.
- E. Medvedovski: Ceram Int., 32 (2006) 369.
- J. Forrester, H. J. Goodshaw, E. H. Kisi and G. J. Suaning: J. Aust. Ceram. Soc., 44 (2008) 47.
- R. L. Coble and J. E. Burke: Prog. Ceram. Sci., 3 (1963) 197.
- P. J. Jorgensen and J. H. Westbrook: J. Am. Ceram. Soc., 47 (1964) 332.
- I. B. Cutler, C. Bradshaw, C. J. Christensen and E. P. Hyatt: J. Am. Ceram. Soc., 40 (1957) 134.
- J. A. Lee and J. J. Kim: J. Korean Ceram. Soc., 39 (2002) 1083.
- S. J. Bennison and M. P. Harmer: J. Am. Ceram. Soc., 68 (1985) 22.
- W. J. Smothers and H. J. Reynolds: J. Am. Ceram. Soc., 37 (1954) 588.
- H. P. Cahoon and C. J. Christensen: J. Am. Ceram. Soc., 39 (1956) 337.
- M. P. Harmer and R. J. Brook: J. Mater. Sci., 15 (1980) 3017.
- A. Krell and A. Bales: Int. J. Appl. Cerm. Technol., 8 (2011) 1108.