Ⅰ. 서론
전력 효율이 높고, 온도 변화에 안정적이며, 대규모 다중 파장 on-chip array를 구축할 수 있는 저비용, 고성능 DFB (Distributed Feedback) 기술은 일관된 광통신, 통합 아날로그 포토닉스, 마이크로파 신호 생성, 그리고 높은 스펙트럼 분해 능력을 갖는 광 검출 및 측정기기인 LIDAR를 포함한 다양한 응용 분야에 중요하게 적용되어 왔다[1-4]. 그러나 대부분의 그 전송구조는 평면 유전체 슬립 상에 다층 유전체로 구성된 장방형 격자(Rectangular Grating) 구조로 제작하였다.
장방형 격자형 DFB 전송구조는 제작이 쉽고 그 설계 특성을 정확하게 분석하기 용이하므로 많은 관련 분야 연구자들의 관심을 집중적으로 받아온 반면 본 논문에서 제시한 비대칭 장방형 격자구조 (Asymmetric Rectangular Grating)의 DFB 전송구조는 격자 구조의 제작이 난해하며, 그 광학적 분산특성을 정확하게 분석하기 힘들다는 이유로 관련 연구 논문이 거의 발표되지 않았다.
이와 같은 이유를 극복하기 위하여, 본 논문에서는 on-chip 전파 손실이 0.1dB/m 미만인 초 저손실 도파관 플랫폼 Si3N4로 구성된 비대칭 장방형 격자구조의 유전율을 2D spatial Fourier 급수를 정의하여 결정하고, 고유치 문제에 기초한 모드 전송선로 이론 (Eigenvalue Problem-based Modal Transmission-Line Theory: EP-MTLT)[5]을 적용하여 비대칭 장방형 격자구조의 DFB 전송구조의 광학적 설계특성을 정확하게 분석하였다. 우선 2장에서 격자구조에 대한 2D spatial Fourier 급수를 유도하였으며, DFB 광 도파로 설계 시에 분석해야 하는 중요한 광학적 특성의 하나인 누설 파 (Leaky-Wave) 특성을 1-st, 2-nd, 3-rd Bragg 조건에서 자세하게 분석하였다. 또한, 비대칭 장방형 격자구조를 구성하는 종횡비 (Aspect Ratio)가 변함에 따라 Rayleigh-Wood 조건에 기인한 anomalies 현상이 Bragg 조건 근처에서 보여 주는 현상을 조사하였다.
3장에서는 주기적인 격자구조의 특성 임피던스로 구성된 등가 전송 선로 망[6]을 사용하여 비대칭 장방형 격자구조의 DFB 광 도파로의 입력 단에서 발생하는 반사 전력 (Reflected Power)을 도시하고 2장에서 고려한 누설 특성과 어떤 관련성이 있는지 비교 설명하였다. 마지막으로 4장에서는 DFB 광 도파로의 중요한 설계 특성인 누설 파의 누설특성 (Leakage)과 반사전력에 대한 결론을 정리하였다.
Ⅱ. 광 도파로의 Leaky-Wave 특성
주기적인 비대칭 장방형 격자구조로 구성된 광 도파로의 분산특성은 격자구조의 비대칭성, 두께, 주기에 의존하여 Bragg 조건 영역 \((\beta d / \pi \approx m=1,2,3, \cdots)\)에서 발생하는 기존의 장방형 구조의 차단대역 (Stop-Band) 특성과 매우 다른 결과를 초래한다. 이러한 변수들에 의존하는 비대칭 장방형 격자구조의 광 도파로가 그림 1(a)에 자세하게 도시되어 있다.
그림 1. (a) 비대칭 정방형 격자로 구성된 광 도파로의 기하학적 구조와 (b) 등가 전송선로 망.
Fig. 1. (a) Geometric configuration of optical waveguide with asymmetric rectangular grating profile, and (b) the corresponding equivalent transmission-line network.
그림에서 보듯이, 전송 구조의 입력 단 (z=0)에서 다중 파장대역 \(\left(\lambda_{1} \sim \lambda_{m}\right)\)의 광 신호 전력이 입사되었다고 가정하자. 그 입사된 다중 파장 전력 중에 일부 파장대역\(\left(\lambda_{1} \sim \lambda_{m}\right)\)은 Bragg 조건 영역에서 비대칭 장방형 격자를 통하여 외부로 누설되고, 누설되지 않은 파장 대역 \(\left(\lambda_{i+1} \sim \lambda_{j-1}\right)\)의 광 신호 전력만이 그 전송 구조를 통하여 출력된다. 이와 같은 물리적 특성은, Bragg 조건 영역에서 임의의 파장대역 광 신호들이 feedback-wave에 의하여 차단되는 전형적인 DFB 전송구조와 유사한 누설 파 차단대역 (Leaky-Wave Stop-Band) 특성이라 할 수 있다.
이와 같은 현상들을 분석하기 위하여 그림 1(a)에서 보듯이, 굴절률 ns=1.4인 유리 기판 위에, 두께 \(t_{f}=0.5 \mu \mathrm{m}\), 굴절률 \(n_{g}=2.1\)인 Si3N4 필름과 두께 \(t_{g}=0.05 \mu \mathrm{m}\)인 비대칭 장방형 격자로 광 도파로를 설계하였다.
그때 비대칭 장방형 격자구조의 광 도파로의 분산 특성을 분석하기 위하여 격자 패턴에 대한 Fourier 확장 특성을 정의해야 한다. 그림 1(a)에서 보듯이, 굴절률 na와 ng로 구성된 격자 구조의 굴절률은 2D spatial Fourier 급수로 아래와 같이 정의된다.
\(\varepsilon_{r}(x)=\sum_{n} \varepsilon_{n} e^{i(2 n \pi / d) x}\) (1)
여기서, Fourier 계수 \(\epsilon_{n} \)는 다음과 같이 유도할 수 있다.
\(\begin{aligned} \varepsilon_{n} &=\frac{1}{t_{g} d} \int_{0}^{t_{g}} \int_{0}^{d} \varepsilon(x, z) e^{-i(2 n \pi / d) x} d x d z \\ &=\Delta \varepsilon\left[F_{1} \operatorname{sinc}\left(n F_{1}\right)+F_{3} \operatorname{sinc}\left(n F_{3}\right) e^{-i n \pi\left(2 M+F_{3}-F_{1}\right)}\right] \end{aligned}\) (2)
위의 식에서 \(\Delta \epsilon=n_{g}^{2}-n_{a}^{2}\)이고 0-번째 Fourier 계수 \(\epsilon_{0} \)는
\(\varepsilon_{0}=n_{g}^{2}\left(F_{1}+F_{3}\right)+n_{a}^{2}\left[1-\left(F_{1}+F_{3}\right)\right]\) (3)
와 같이 정의된다. 식 (2), (3)에서 \(M=F_{1}+F_{2}\)와 \(F_{i}=d_{i} / \Lambda\)은 x축을 따라 구성된 격자구조의 종횡비 (Aspect Ratio: 각 격자 부분을 주기로 나눈 값)를 나타낸다.
그때, EP-MTLT의 횡방향 공진조건 (Transverse Resonance Condition)을 적용하면 광 도파로에서 전파하는 정확한 모드들의 eigenvalue인 전파상수 \(\boldsymbol{k}_{z n}\)을 결정할 수 있다. 그 값은 다음과 같이 정의된다.
\(\left|\mathbf{Y}_{u p}\left(k_{z n}\right)+\mathbf{Y}_{d n}\left(k_{z n}\right)\right|=0\) (4)
여기서, β는 모드들의 위상상수 (Phase Constant)를 나타내며 α는 누설 파의 누설특성을 나타내는 감쇄상수 (Attenuation Constant)이다.
\(k_{z n}=k_{z 0}+\frac{2 n \pi}{d}=\beta+i \alpha+\frac{2 n \pi}{d}\) (5)
TE0 모드에 대한 그림 2의 정규화 감쇄상수 \(\alpha \lambda \)에 대한 분산곡선에서 보듯이, 비대칭 장방형 격자구조는 Bragg 조건 영역들에서 매우 큰 피크 값을 나타내었다. 이 피크 값들은 지금까지 알려져 왔던 진행파 (Forward Wave)와 후진파 (Backward Wave)의 위상상수가 서로정합되는 피드백 특성과 다른 현상으로 누설 파가 외부 로그 전파 전력을 누설하여 형성된 것이다. 그림에서 보듯이, 비대칭 장방형 격자구조의 도파로는 모든 Bragg 조건 영역 \((\beta d / \pi \approx 1,2,3)\)에서 peak 값을 갖는 매우 큰 누설 특성을 보였으며, Rayleigh-Wood 조건에 기인한 anomalies 현상이 \(F_{1}=F_{2}=F_{3}=0.25 d\)인 대칭 장방형 격자구조에서 보다 매우 급격하게 발생함을 보였다.
그림 2. 비대칭 정방형 격자로 구성된 광 도파로의 누설성분에 대한 분산곡선 (TE 모드의 경우).
Fig. 2. (Color Online) Dispersion curve for leakage of optical waveguide with asymmetric rectangular grating profile (TE mode case).
더욱이, 그림 2(a)에서 보듯이 비대칭 특성을 나타내는 종횡비가 \(F_{2}=0.28 d, F_{3}=0.1 d\)인 경우, F1의 변화에 따른 anomalies 현상은 거의 변하지 않음을 보였다. 그러나, \(F_{1}=0.15 d, F_{2}=0.28 d\)인 경우, F3의 변화에 따른 anomalies 현상을 분석한 그림 2(b)와 \(F_{1}=0.15 d, F_{3}=0.1 d\)인 경우, F2의 변화에 의존하는 그림 2(c)에서 보듯이, 이와 같은 경우에서 anomalies 현상이 더욱 명확하게 발생하는 것을 알 수 있었다. 종합하면, 비대칭 장방형 격자구조에서 anomalies 현상은 종횡비 F2의 변화에 가장 민감하게 반응하며, 2차 Bragg 조건에서 이 현상을 잘 관찰할 수 있음을 보였다. 같은 개념으로, 그림 3에서 보듯이, TM0 모드에 대한 정규화 감쇄상수 \(\alpha \lambda\)에 대한 분산곡선을 그래프로 분석하였다. 그림에서 보듯이, TM0 모드도 TE0 모드와 유사한 anomalies 현상을 나타내었으며, 특히 종횡비의 변화에 따른 물리적 특성도 TE0 모드와 같이 발생함을 보였다.
그림 3. 비대칭 정방형 격자로 구성된 광 도파로의 누설성분에 대한 분산곡선 (TM 모드의 경우).
Fig. 3. (Color Online) Dispersion curve for leakage of optical waveguide with asymmetric rectangular grating profile (TM mode case).
다음으로, 각 Bragg 조건 하에서 격자 두께의 변화가 비대칭 장방형 격자구조의 누설특성에 어떠한 영향을 미치는지 수치해석 하였다. 그림 4에서 보듯이, TE, TM 모드는 모두 2차 Bragg 조건에서 가장 큰 누설특성을 나타내었으며, \(t_{g}=0.05 \mu m\)을 기준으로 TE 모드가 TM 모드 보다 넓은 영역의 격자 두께에서 누설특성이 크게 발생함을 보였다. 그러므로, 각 Bragg 차수에서 최대의 누설성분을 얻기 위하여 TE 모드 보다 TM 모드의 특성에서 격자 두께를 최적화하는 것이 필수적이다.
그림 4. 격자 두께에 따른 비대칭 정방형 격자 도파로의 누설 특성.
Fig. 4. (Color Online) Normalized Leakage of asymmetric rectangular grating waveguide along with grating thickness.
누설특성에 대한 마지막 해석으로, 격자 두께와 비대칭 비율 F1의 변화에 따른 누설특성의 분포도를 수치 해석하였다. 그림 5(a)에서 보듯이, TE 모드는 종횡비 F1이 증가함에 따라 큰 누설특성을 나타내는 격자 두께의 영역이 점진적으로 넓어지는 특성을 나타냈다. 반면에 그림 그림 5(b)에서 보듯이, TM 모드는 종횡비 F1 = 0.25까지 큰 누설특성을 나타내는 격자 두께의 영역이 점진적으로 넓어지다가 다시 줄어드는 특성을 보여주었다. 그러나 TE 모드 보다는 현저하게 좁은 격자 두께의 영역에서 이와 같은 현상이 나타났다. 본 논문에서는 제시하지 않았지만 종횡비 F2, F3의 경우에도 이와 같은 특성이 발생하였다. 결론적으로, TM 모드에서 종횡비가 변할 때 좋은 누설특성을 발생시키기 위하여 매우 섬세하게 격자 두께를 조율해야 하는 것이다.
그림 5. 격자 두께와 비대칭 비율 F1의 변화에 따른 누설특 성의 분포도.
Fig. 5. (Color Online) Contour of normalized leakage along the variation of grating thickness and aspect ratio F1.
Ⅲ. 광 도파로의 DFB 특성
비대칭 장방형 격자로 구성된 광 도파로의 필터특성은 2장에서 언급한 누설 파에 의존하는 경우와 진행파와 후진 파의 위상상수가 서로 정합되어 나타나는 피드백에 의존하는 경우이다.
본 장에서는 피드백에 의한 DFB 현상을 누설 파에 의존하는 필터특성과 자세하게 비교, 분석하기 위하여 그림 1(b)에서 보듯이 광 도파로에 대한 등가 전송선로를 구성하였다. 이 등가 전송선로는 아래와 같이 주어진 주기적인 격자구조에 대한 특성 임피던스 \(Z_{e q}\)에 기반한다[6].
\(Z_{e q}=\left\{\begin{array}{ll} (\omega \mu) / C_{p}^{*} & \text { for TE mode } \\ C_{p}^{*} /\left(\omega \varepsilon_{0}\right) & \text { for TM mode } \end{array}\right.\) (6)
여기서 \(C_{p}^{*}\)는 식 (5)의 전파상수 kzn으로 구성되는 각 모드들의 필드 직교조건 (Field Orthogonality Condition)과 전력 보존 조건 (Power Conservation Condition)을 만족하는 정규화 상수이다. 그때 둥가 전송선로 망의 입력 단 (z=0)에서의 반사 전력 (Reflected Power)은 다음과 같이 정의된다.
\(P_{r e f}=\left|\Gamma_{i n}\right|^{2}=\left|\frac{\Gamma(L)\left(1+e^{2 i k_{z 0} L}\right)}{1+\Gamma^{2}(L) e^{2 i k_{z 0} L}}\right|^{2}\) (7)
여기서 \(\Gamma(L)\)은 출력 단 (z = L)에서의 반사계수이며 \(\Gamma(L)=\left(Z_{p}-Z_{e q}\right) /\left(Z_{p}+Z_{e q}\right)\)와 같이 표현된다.
먼저 TE0 모드에 대한 식 (7)의 반사 전력을 비대칭 장방형 격자구조를 갖는 광 도파로에 대하여 분석하였다. 전송구조의 길이가 L = 100d, 200d인 그림 6(a)에서 보듯이, 두 격자구조 모두 2차 Bragg 조건 영역의 근처에서 최대의 DFB 특성이 발생하였다. Bragg 조건 영역의 근처에서 확대한 맨 위의 그림에서 보듯이, 분홍색 원으로 표시한 반사 전력의 최댓값은 L = 100d인 경우, 2차 Bragg 조건에서 조금 벗어난 \(\beta d / \pi \approx 2.0016\)에서 나타났으며,L = 200d인 경우에는 2.0009에서 발생하였다.
그림 6. (a) 2차 Bragg 조건과 (b) 3차 Bragg 조건에서 비대칭형 격자구조의 반사 전력. 여기서, N은 단위 셀의 수이다.
Fig. 6. (Color Online) Reflected power of asymmetric grating profile at (a) 2-nd and (b) 3-rd Bragg conditions, where N is the number of unit cell.
또한, 녹색의 원들로 표시한 2차 Bragg 조건에서의 반사 전력은 최댓값에서 L = 100d인 경우 –4 dB, 그리고 L = 200d인 경우에는–7 dB 떨어져서 발생함을 보였다. 이와 같은 현상은 그림 2에서 보듯이, 2차 Bragg 조건 영역에서는 외부로 방출되는 매우 큰 누설 특성이 나타나기 때문에 발생하는 당연한 물리적 특성이라 할 수 있다.
이와 유사한 현상이 3차 Bragg 조건 영역의 근처에서도 발생하였다. 그림 6(b)의 분홍색 원으로 표시한 반사 전력의 최댓값에서 보듯이, 최댓값은 L = 100d인 경우, \(\beta d / \pi \approx 3.0004\)에서, L = 100d인 경우에는 2.997에서 발생하였다. 그리고 매우 큰 누설특성이 나타나는 3차 Bragg 조건 영역에서의 반사 전력은 녹색의 원으로 표시한 값에서 보듯이, 격자길이에 관계없이 최댓값에서 –2dB 떨어져서 나타났다.
결국, 2장의 누설 파 특성과 3장의 DFB 특성에 대한 수치 해석적 사실로부터 알 수 있는 비대칭 장방형 격자구조를 갖는 광 도파로의 물리적 현상을 종합해 보면, 각 Bragg 조건 영역에서 누설성분은 최대가 되며, 그 조건영역 근처에서 반사전력이 최대가 되는 DFB 특성이 나타나는 것을 알 수 있다. 이는 DFB형 광 소자를 설계할 때 누설 파의 누설특성만 자세하게 분석하면 최적의 소자를 얻을 수 있다는 것을 암시하는 결과이다.
Ⅳ. 결론
본 논문에서는 비대칭 장방형 격자구조를 갖는 광 도파로의 누설특성과 DFB 특성을 고유치 문제에 기초한 모드 전송선로 이론을 사용하여 정확하게 분석하였다. 제안한 광 도파로의 누설 특성을 통하여 감쇠파의 누설성분을 평가하였으며, 차단 대역을 분석하기 위하여 등가 전송선로 망을 구성하여 DFB 현상을 수치해석 하였다. 또한, 비대칭 장방형 격자구조를 갖는 DFB 소자의 최적 설계 조건을 구하기 위하여 DFB 현상과 누설 성분과의 연관성을 Bragg 조건 영역에서 비교 검토하였다.
분석결과, 제안한 비대칭 장방형 격자구조로 구성된 광 도파로는 DFB 전송구조의 반사전력이 최대가 되는 조건 근처에서 누설 파에 의존하는 누설성분 또한 최대가 되는 것을 알 수 있었다. 그러므로 이와 같은 물리적광 특성에 기초한 설계 변수들을 자세하게 분석하고 종합하면 좋은 특성의 광 필터를 설계할 수 있다는 것이다.
※ 본 연구는 한성대학교 교내연구비 지원과제입니다.
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