Air Cleaning Technology (공기청정기술)

Korean Air Cleaning Association (한국공기청정협회)
권호 표지

클린룸 최신 기술의 심층분석 - 일유체 노즐을 이용한 실내 수분무 가습 클린룸 시스템

  • 송원일 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) ;
  • 유경훈 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) ;
  • 태경응 (은성화학(주)) ;
  • 김용식 ((주)삼우시스템)
  • Published : 2015.12.30
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Abstract

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