참고문헌
- C. O. Chui, H. Kim, D. Chi, B. B. Triplett, P. C. Mclntyre, and K. C. Saraswat, Tech. Dig. Int. Electron Devices Meet., 437 (2002).
- H. Shang, H. Okorn-Schmidt, K. K. Chan, M. Copel, J. A. Ott, P. M. Ott, P. M. Kozlowsi, S. E. Steen, H. -S. P. Wong, E. C. Jones, and W. E. Haensch, Tech. Dig. -Int. Electron Devices Meet., 441 (2002).
- W. -H. Kim, B. Kim, and H. Kim, J. Korean Vac. Soc. 19, 14 (2010). https://doi.org/10.5757/JKVS.2010.19.1.014
- S. Swaminathan, Y. Sun, P. Pianetta, and P. C. McIntyre, J. Appl. Phys. 110, 094105 (2011). https://doi.org/10.1063/1.3647761
- W. P. Bai, N. Lu, J. Liu, A. Ramirez, D. L. Kwong, D. Wristers, A. Ritenour, L. Lee, and D. Antoniadis, VLSI Tech. Dig, 121 (2003).
- E. P. Gusev, H. C. Lu, T. Gustafsson, and E. Garfunkel, Phys. Rev. B 52, 1759 (1995). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.52.1759
- H. S. Chang, H. Hwang, M.-H. Cho and D.W. Moon, Appl. Phys. Lett. 86, 031906 (2005). https://doi.org/10.1063/1.1850596
- M. Caymaxa, S. Van Elshocht, M. Houssa, A. Delabie, T. Conard, M. Meuris, M.M. Heyns, A. Dimoulas, S. Spiga, M. Fanciulli, J.W. Seo, L.V. Goncharova, Materials Science and Engineering B 135, 256 (2006). https://doi.org/10.1016/j.mseb.2006.08.016
- E. Golias, L. Tsetseris, A. Dimoulas and S. T. Pantelides, Microelectron.Eng. 88, 427 (2011). https://doi.org/10.1016/j.mee.2010.07.041
- K. Kita, S. Suzuki, H. Nomura, T. Takahashi, T. Nishimura and A. Toriumi, Jpn. J. Appl. Phys. 47, 2349 (2008). https://doi.org/10.1143/JJAP.47.2349
- H. Shang, K.L. Lee, P. Kozlowski, C. D'Emic, I. Babich, E. Sikorski, M. Ieong, H.S.P. Wong, K. Guarini and W. Haensch, IEEE Electron Device Lett. 25, 135 (2004). https://doi.org/10.1109/LED.2003.823060
- C. H. Huang, D. S. Yu, A. Chin, W. J. Chen, C. X. Zhu, M. F. Li, B. J. Cho, and D. L. Kwong, Tech. Dig. Int. Electron Devices Meet., 319 (2003).
- M. -H. Cho, H. S. Chang, D. W. Moon, S. K. Kang, B. K. Min, D. -H. Ko, H. S. Kim, Paul C. McIntyre, J. H. Lee, J. H. Ku, and N. I. Lee, Appl. Phys. Lett. 84, 1171 (2004). https://doi.org/10.1063/1.1647703