참고문헌
- T. H. Chou, K. Y. Cheng, T. L. Chang, C. J. Ting, H. C. Hsu, C. J. Wu, J. H. Tsai, T. Y. Huang, Microelec. Eng. 86, 628 (2009) [DOI:j.mee.2009.01.067]. https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.01.067
- C. S. Lee, Z. Y. Cui, H. F. Jin, S. W. Sung, H. G. Lee, N. S. Kim, Trans. Electr. Electron. Mater. 12, 35 (2011) [DOI:10.4313/TEEM.2001.12.1.35].
- M. Burgelman, A. Niemegeers, Solar Energy Materials & Solar Cells 51, 129 (1998) [DOI:10.1016/S0927-0248(97)00227-4].
- J. H. Kim, J. H. Her, Y. J. Lim, P. Kumar, S. H. Lee, K. H. Park, J. H. Lee, B. K. Kim, Trans. Electr. Electron. Mater. 11, 134 (2010) [DOI:10.4313/TEEM.2010.11.3.134].
- Y. Kuo, Jpn. J. Appl. Phys. 36, L629 (1997) [DOI:10.1143/JJAP.36.L629].
- A. Grigonis, R. Knizikevicius, Z. Rutkuniene, D. Tribandis, Vacuum 70, 319 (2003) [DOI:10.1016/S0042-207X(02)00662-0].
- H. B. Andagana, X. A. Cao, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 189 (2010) [DOI:10.1116/1.3280919].
- J. C. Woo, D. S. Um, C. I. Kim, Thin Solid Films 518, 2905 (2010) [DOI:10.1016/j.tsf.2009.10.144].
- A. M. Efremov, V. I. Svettsov, D. V. Sitanov, D. I. Balashow, Thin Solid Films 516, 3020 (2008) [DOI:10.1016/j.tsf.2007.11.046].
- G. H. Kim, C. I. Kim, A. M. Efremov, Vacuum 79, 231 (2005) [DOI:10.1016/j.vacuum.2005.03.012].
- Y. H. Park, J. K. Kim, J. H. Lee, Y. W. Joo, H. S. Noh, S. J. Pearton, Microelec. Eng. 87, 548 (2010) [DOI:10.1016/j.mee.2009.08.006]
- J. S. Kim, F. Cacialli, R. Friend, Thin Solid Films 445, 358 (2003) [DOI:10.1016/S0040-6090(03)01185-4].
- H. Y. Yu, X. D. Feng, D. Grozea, Z. H. Lu, R. N. S. Sodhi, A. M. Hor, H. Aziz, Appl. Phys. Lett. 78, 2595 (2001) [DOI:10.1063/1.1367897].
- W. R. Salaneck, N. Johansson, K. Z. Xing, F. Cacialli, R. H. Friend, G. Beamson, D. T. Clark, Synth. Met. 92, 207 (1998) [DOI:10.1016/S0379-6779(98)80088-X].
- W. Song, S. K. So, L. Cao, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 72, 361 (2001) [DOI:10.1007/s003390000534].
- D. Y. Kim, J. H. Ko, M. S. Park, N. E. Lee, Thin Solid Films 516, 3512 (2008) [DOI:10.1016/j.tsf.2007.08.021].
피인용 문헌
- Reactive ion etching of indium-tin oxide films by CCl4-based Inductivity Coupled Plasma vol.741, 2016, https://doi.org/10.1088/1742-6596/741/1/012105
- Nearly Total Solar Absorption in Ultrathin Nanostructured Iron Oxide for Efficient Photoelectrochemical Water Splitting vol.1, pp.3, 2014, https://doi.org/10.1021/ph4001026
- Surface-enhanced infrared absorption for the periodic array of indium tin oxide and gold microdiscs: Effect of in-plane light diffraction 2018, https://doi.org/10.1021/acsphotonics.7b01265