전자공학회논문지 IE

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

Cleaning System Design using Supper Heating Steam

과열 수증기를 이용한 세정 시스템 설계

  • 조도현 (인하공업대학 디지털전자과)
  • Received : 2011.04.11
  • Accepted : 2011.06.15
  • Published : 2011.06.25
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

In this paper, we propose the cleaning process system to remove micro-particles, various impurities, unnecessary residues, etc. for liquid crystal display manufacturing processes. This system is structured with cleaning, rinse and drying process using the chemical cleaning of alkaline water and the physical cleaning of SHS(supper heating steam). And we shows cleaning effects of alkaline water and remove effects of SHS.

본 논문은 LCD등에 사용되는 유리기판 가공 과정에서 표면에 발생하는 이물질을 제거하기 위한 세정 시스템을 제안한다. 이 세정 공정 시스템은 알카리 전해수의 화학적 세정과 과열 수증기 시스템의 물리적 세정방법을 사용한 세정, 린스, 건조 공정으로 구성된다. 또한 세정 시스템에서 사용되는 알카리 전해수의 화학적 세정효과를 실험을 통해, 알카리 전해수의 세정 효과와 과열 수증기 시스템의 제거효과를 보인다.

Keywords

References

  1. T. H. Kuehn, D. B. Kittelson, Y. Wu and R. Gouk,"Particle removal from semiconductor wafers by megasonic cleaning", Journal of Aerosol Science, Vol. 27, pp. 427-428, 1996. https://doi.org/10.1016/0021-8502(96)00286-8
  2. 박용준, "반도체 및 TFT-LCD용 세정액", 한국과학기술정보연구원 기술뉴스브리프.
  3. 홍민성, 송봉섭, 김종민, "TFT LCD 세정 공정 개선에 관한연구", 조선대학교 기계기술연구 제8권 제1호 (2005. 9) pp.109-121, 2005.
  4. 峠有利子, "アルカリ電解水による機能性ガラスの洗浄方式(特集工業用洗浄装置の動向)",日本産業洗浄協議会, 産業洗淨技術情報誌, Industrial cleaning(4), 13-16, 2009-09.
  5. Koji Yamanaka,* Takashi Imaoka, "Electrolyzed Water as the Novel Cleaning Media in Ultra-Large-Scale Integration and Liquid-Crystal Display Manufacturing", Japan Langmuir, 1999, 15 (12), pp 4165-4170, 1999. https://doi.org/10.1021/la981153r
  6. Edwin S. Kolic, "Water-electroloysis Dells Using Hydrogen- Diffusion Cathodes", Bttlele Memorial Institute, 1969.
  7. M. Iguchi, H. Ueda and T. Uemura, "Bubble and liquid flow characteristics in a vertical bubbling jet", International Journal of Multiphase Flow, Vol. 21, pp. 861-873, 1995. https://doi.org/10.1016/0301-9322(95)00014-O
  8. Mustafa Kemal Kulekci, "Processes and apparatus developments in industrial waterjet applications", International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 42, pp. 1297-1306, 2002. https://doi.org/10.1016/S0890-6955(02)00069-X