참고문헌
- J. Oh, P. Majhi, H. D. Lee, K. T. Lee, W. H. Choi, J. W. Yang, C. Y. Kang, R. Harris, S. C. Song, P. Kalra, S. Lee, S. Banerjee, B. H. Lee, H. H. Tseng, and R. Jammy, Ext. Abs. the 7th International Workshop on Junction Technology (Kyoto, Japan, 2007) p. 55.
- C. Martin, L. M. Hitt, and J. J. Rosenberg, IEEE Electron Device Lett., 10, 325 (1989). https://doi.org/10.1109/55.29667
- K. Saraswat, C. O. Chui, T. Krishnamohan, D. Kim, A. 554 Nayfeh, and A. Pethe, Mat. Sci. Eng. B, 135, 242 (2006). https://doi.org/10.1016/j.mseb.2006.08.014
- H. L. Shang, O. S. Harald, K. K. Chan, M. Copel, J. A. Ott, P. M. Kozlowski, S. E. Steen, S. A. Cordes, H. P. Wong, E. C. Jones, and W. E. Haensch, IEDM Tech. Dig., 441 (2002).
- C. O. Chui, H. Kim, D. Chi, B. B. TRiplett, P. C. Mcintyre, and K. C. Saraswat, IEDM Tech. Dig., 437 (2002).
- C. H. Huang, D. S. Yu, A. Chin, C. H. Wu, W. J. Chen, C. Zhu, M. F. Li, B. J. Cho, and D. L. Kwong, IEDM Tech. Dig., 319 (2003).
- E. P. Gusev, H. Shang, M. Copel, M. Gribelyuk, C. D. Emic, P. Kozlowski, and T. Zabel, Appl. Phys. Lett. 85, 2334 (2004). https://doi.org/10.1063/1.1794849
- S.Y. Zhu, R. Li, S. J. Lee, M. F. Li, A. Du, J. Singh, C. X. Zhu, A. Chin and D. L. Kwong, IEEE Electron Device Lett., 26, 81 (2005). https://doi.org/10.1109/LED.2004.841462
- L. E. Calvet, H. Luebben, M. A. Reed, C. Wang, J.P. Snyder, and J. R. Tucker, J. Appl Phys., 91, 757 (2002). https://doi.org/10.1063/1.1425074
- R. Li, H.B. Yao, S. J. Lee, D. Z. Chi, M. B. Yu, G. Q. Lo, and D. L. Kwong, Thin Solid Films, 504, 28 (2006). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.09.033
- S. K. Oh, Y. Y. Zhang, H. S. Shin, I. S. Han, H. M. Kwon, B. S. Park, S. U. Park, J. D. Bok, G. W. Lee, J. S. Wang, and H. D Lee, Ext. Abs. the 10th International Workshop on Junction Technology (Shanghai, China, 2010) p. 82.
- Y. L. Jiang, G. P. Ru, X. P. Qu, and B. X. Li, Ext. Abs. the 7th International Workshop on Junction Technology (Kyoto, Japan, 2007) p. 93.
- Donald A. Neamen, Semiconductor physics and devices (basic principles 3rd ed., McGraw Hill, New York, 2002) p.329.