참고문헌
- J. H. Seo, H. S. Jeong, J. Y. Lee, C. K. Yoon, J. K. Kim, and K. W. Whang. J. Appl. Phys. 88(3), 1257 (2000). https://doi.org/10.1063/1.373812
- J. C. Ahn, T. Y. Kim, J. J. Ko, Y. Seo, G. S. Cho, and E. H. Choi, J. Appl. Phys. 87(11), 8045(2000). https://doi.org/10.1063/1.373495
- P. Y. Oh, J. H. Lee, S. H. Jeong, H. S. Moon, S. B. Lee, K. B. Song, Y. Jung, Y. K. Kim, G. Cho, H. S. Uhm, and E. H. Choi, IEEE Trans. Plasma Sci. 34(2), 317(2006) https://doi.org/10.1109/TPS.2006.872446
- W. J. Alford, J. Chem. Phys. 81(18), 3341(2002)
- J. Galy, K. Aouame,, A. Brunet, and P. Millet, J. Phys. B, At. Mol. Opt. Phys. 26(3), 477(1993). https://doi.org/10.1088/0953-4075/26/3/018
- K. Tachibana, S. Feng, and T. Sakai, J. Appl. Phys. 88( 9), 4967(2000). https://doi.org/10.1063/1.1314312
- J. S. Oh and K. Tachibana, J. Appl. Phys. 102(7), 073(2007).