한국산학기술학회논문지 (Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society)

  • 제11권11호
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  • Pages.4095-4099
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  • 2010
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  • 1975-4701(pISSN)
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  • 2288-4688(eISSN)
한국산학기술학회 (The Korea Academia-Industrial cooperation Society)
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주사탐침현미경을 위한 정밀 구조 설계

Precision-structural Design for Scanning Probe Microscopes

  • 투고 : 2010.10.11
  • 심사 : 2010.11.19
  • 발행 : 2010.11.30
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초록

주사탐침현미경과 같은 나노 측정 시스템은 외란으로부터 보호를 받아야만 한다. 주사탐침현미경의 설계를 위해 외부 진동진동의 특성을 파악해야 하고, 구조프레임 자체의 진동 해석 해야 한다. 또한 장치의 최고 정밀도를 파악하기 위하여, 외부진동의 영향을 분석해야 한다. 본 논문에서는 바닥진동과 구조프레임을 동시에, 진동 분석과 실험을 통하여 진동 특성을 조사하였다.

Nano-measurement systems such as scanning probe microscopes should be protected against external disturbances. For the design of a scanning probe microscope, the external vibrations need to be characterized and the vibrational properties of the structural frame itself should be modeled. Also, the influences of the external vibration on the apparatus need to be known for its utmost precision. In this paper, the combined vibrational-characteristics of the floor and the structural frame are analyzed and experimentally investigated.

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참고문헌

  1. Kindt, J. H., Fantner, G. E., Cutroni, J. A., and Hansma, P. K., "Rigid design of fast scanning probe microscopes using finite element analysis", Ultramicroscopy, Vol.100, No.3/4, pp. 259-265, 2004. https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2003.11.009
  2. Bessason, B., Madshus, C., Froystein, H. A., Kolbjornsen, H., "Vibration criteria for metrology laboratories", Measurement science and technology, Vol. 10, No. 11, pp. 1009-1014, 1999. https://doi.org/10.1088/0957-0233/10/11/306
  3. Paul, C. R., "Structural Design of Semiconductor Manufacturing Facilities", Proceedings of Construction congress V: managing engineered construction in expanding global markets, pp.186-192, 1997.
  4. Park, S. and Quate, C. F., "Theories of the feedback and vibration isolation systems for the scanning tunneling microscope", Review of Scientific Instruments, Vol.58, No.11, pp. 2004-2009, 1987. https://doi.org/10.1063/1.1139507
  5. Lee, Jeong-Ick, "The mechanical dither design of navigation guide structure", Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, Vol. 11, No. 6, pp. 1949-1954, 2010. https://doi.org/10.5762/KAIS.2010.11.6.1949