초록
ITO 코팅 글라스를 기판으로 사용하고 폴리(페닐렌에테르설폰)(PES)을 감습막으로 하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 감습막은 PES를 m-cresol에 용해한 후 스핀코팅으로 제조하였고 그 상부에 다공성 Au막을 스퍼터링으로 증착하였다. 상대습도 $20\sim90%$의 범위에서 센서의 용량은 감습막두께에 반비례하였고 1% 미만의 비선형 특성을 나타내었다. 또한 $1.4{\mu}m$ 두께의 샘플에서는 20 kHz에서 1.3%의 히스테리시스와 1.14의 우수한 감도를 얻을 수 있었다.
We fabricated a capacitive-type humidity sensor using poly (p-phenylene ether sulfone: PES) as a humidity sensitive layer. The PES was dissolved in m-cresol $(CH_3C_6H_4OH)$ and spin-coated on ITO-coated glass substrate. Gold was deposited by sputtering as a water-permeable upper electrode. The capacitance of the sensor was inversely proportional to sensing film thicknesses and showed an excellent linearity of less than 1% in the humidity range of 20 to 90%. The sensor haying a $1.4{\mu}m$ sensing layer showed a hysteresis of 1.3% and a good sensitivity of 1.14 at 20 kHz.
