Manufacturing Technology of Mold with Micro Pattern on Large Surface

대면적 미세형상 초정밀 금형가공 기술

  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비센터) ;
  • 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비센터) ;
  • 유영은 (한국기계연구원 나노공정장비센터)
  • Published : 2005.05.01

Abstract

Keywords

References

  1. Je, T.J., Choi, D.S., 'Develop. of a Micro Machin. Tech. for Fab. of Micro parts,' Key Eng. Mat., 2003
  2. Taniguchi, N., 'Nanotechnology-Integrated processing System for Ultra-precision and Ultrafine Products,' Oxford Univ. Press, 1996