UV meter용 패브리-페로 간섭필터 제작 및 광학특성연구

The optical characteristic of Fabry-Perot interferometer filter for UV meter

패브리-페로 형태의 UV용 투과필터를 광학용 설계 프로그램을 이용하여 설계한 후, 설계치를 근거로 하는 두개의 투과필터를 제작하여 광학적 특성을 조사하였다. 투과 영역의 투과율은 반사경으로 사용한 Ag 박막의 두께로 조절하였으며, 투과 파장을 spacer 층으로 사용된 $SiO_2$ 층의 두께로 조절하였다. 시료의 제작은 RF magnetron sputtering법을 이용하였으며, 제작 시료의 구조는 다음과 같다. [air|$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(78 nm)|$SiO_2$(68 nm)|Ag(78 nm)|Cr(5 nm)|glass], [air|$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(58 nm)|$SiO_2$(56 nm)|Ag(58 nm)|Cr(5 nm)|glass]. 제작한 LV용 투과필터의 광학적 특성은 분광광도계를 이용해서 측정하였다. UV용 투과필터에 의한 투과율은 약 370nm에서 6% 이였으며, 400 nm에서는 0.2% 이하이었다. Ag의 두께를 얇게 함에 따라 투과율을 증가시킬 수 있었으며, spacer 층으로 사용된 $SiO_2$ 층의 두께를 조철하여 투과영역을 조절할 수 있었다.

The Fabry-Perot interferometer filters for UV meter were designed using the design program of optical thin films. From the data obtained, two filters were fabricated. The transmittance of two filter were measured by spectrophotometer in order to analysis their optical property. The transmittance was controlled by the thickness of Ag reflector and the wavelength of the transmission was controlled by the thickness of $SiO_2$ spacer. The two UV filters were fabricated by the RF magnetron sputtering which are the multilayers of [air/$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(78 nm)|$SiO_2$(68 nm)|Ag(78 nm)|Cr(5 nm)|glass] and [air/$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(S8 nm)|$SiO_2$(56 nm)|Ag(58 nm)|Cr(S nm)|glass]. One filter has the maximum transmittance of 6% at the about 370nm and it has the transmittance of below 0.2% at 400nm. The other filter can be found that the transmittance is increased as the thickness of Ag is decreased and the wavelength of the transmission is controlled by the thickness of $SiO_2$ spacer layer.