Abstract
We studied patterned ITO layers of PDP thin films on glass substrates using spectroscopic ellipsometry. The optical property of ITO is expressed with the optical model based on two Lorentz oscillators. The effect of patterned ITO is calculated by taking the weighted average of reflectance in proportion to ITO coverage. The relative coverage of ITO is determined by using the model analysis of spectroellipsometric data. The difference of ITO coverage obtained by the best-fit model analysis of ellipsometric spectra to the expected one is critically examined and suggestions are made to minimize the observed discrepancy.
분광타원법을 이용하여 PDP용 ITO박막의 광학상수 및 패턴을 분석하였다. ITO 박막의 광물성은 로렌쯔 진동자 모델을 사용하고 ITO의 패턴에 의한 효과는 전체빔이 ITO와 유리기층을 덮는 면적비 가중치를 가진 반사율 평균방법으로 반영시켰다. PDP 다층박막을 구성하고 있는 유리기층 위의 ITO박막 패턴이 타원데이터에 미치는 영향을 분석하여 ITO가 패턴에서 차지하는 면적비를 결정하였다. 측정된 분광타원데이터에 최적맞춤한 ITO의 상대면적값이 예측값과 보이는 차이를 검토함으로써 분광타원법을 사용한 ITO패턴분석의 한계와 이를 극복하는 방법을 제시하였다.
