The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

Dry Etch 기술 동향 및 전망

  • 김진웅 (하이닉스반도체 메모리연구소)
  • Published : 2001.08.01
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Abstract

Keywords

References

  1. Technology Trends in the VLSI Era, Robert N. Castellano Semiconductor Device Processing
  2. (주) 전자자료사 월간 반도체
  3. 한국반도체산업협회 반도체 산업
  4. 반도체 기술동향