초록
Mn-Ir-Pt/Ni-Fe 교환이방성 이층박막은 계면에서 높은 교환결합자계(exchange bias field; $H_{ex}$)를 가질 뿐만 아니라 뛰어난 열적안정성과 Mn-Ir에 비하여 좋은 내식성을 나타내므로 스핀밸브형 다층막 소자의 고정층의 재료로 적합하다고 생각되어진다. 열적안정성에 관한 평가인 blocking 온도( $T_{b}$)는 Mn-Ir이 240 $^{\circ}C$로 Mn-Ir-Pt가 250 $^{\circ}C$로 Mn-Ir에 비하여 Mn-Ir-Pt의 $T_{b}$가 높은 것으로 평가되었으며, 내식성에 관한 평가인 부식전류밀도는 Mn-Ir-Pt 10배 정도의 낮은 값을 가지므로 내식성 또한 Mn-Ir에 비해 우수한 것으로 평가된다. Mn-Ir에 Pt를 약 1.9 at%정도 첨가하였을 때 $H_{ex}$가 가장 큰 값을 나타내었다. 본 연구에서 Ni-Fe/M $n_{78.3}$I $r_{19.8}$P $t_{1.9}$의 고정층을 사용한 스핀밸브 다층막의 자기적, 구조적 특성을 연구한 결과 약 5 %의 자기저항비를 얻을 수 있었다.다.다.다.다.다.다.
The Mn$\_$80/Ir$\_$18.1/Pt$\_$1.9/ exchange bias layers (EBLs), which have a small amounts of Pt, exhibit a high value of H$\_$ex/. The Si/Ni-Fe/Mn$\_$80/Ir$\_$18.1/Pt$\_$1.9/ EBL shows the largest H$\_$ex/ of 187 Oe, which is equivalent to a exchange energy (J$\_$ex/) of 0.146 erg/cm$^2$. Mn$\_$80/Ir$\_$18.1/Pt$\_$1.9/ EBLS are estimated to have blocking temperature of about 250 $\^{C}$, which is higher than those of Mn-Ir EBLs and Mn-Ir-Pt EBLs with higher Pt contents. This result implies that a little addition of Pt element promotes thermal stability in the Mn-Ir-Pt EBLs. The chemical stability of Mn-Ir-Pt EBLs was characterized by potentiodynamic test, which was performed in 0.001 M NaCl solution. The current density of Mn-Ir-Pt films was gradually reduced with increasing Pt content. The present results indicate that the Mn-Ir-Pt with a small amount of Pt is suitable for an antiferromagnetic material for a reliable spin valve giant magnetoresistance device.