Journal of the Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회지)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Application of Bio-MEMS Technology on Medicine and Biology

Bio-MEMS : MEMS 기술의 의료 및 생물학 응용

  • 장준근 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 정석 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 한동철 (서울대학교 전기컴퓨터공학부)
  • Published : 2000.07.01
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Abstract

지난 세기부터 MEMS 제작 기술을 이용하여 만들어진 시스템들을 의학이나 생물학적인 용도로 응용하기 위한 많은 연구가 활발히 이루어져 왔다. 기술적인 측면에서 이러한 연구들은 MEMS 분야의 초창기에 강조되어 온 표면 및 몸체 미세 가공 기술(surface ＆ bulk micromachining)과 같은 미세 구조물 제작 기술의 발전에 힘입은 바 크다. 그러나 MEMS 기술이 점차 발전되어 오면서, 가공 기술이 고도화되고 미세 시스템의 구조가 점차 복잡해짐에 따라, 많은 연구들이 단순한 가공기술을 넘어 미세 시스템을 조립하고 집적화할 수 있는 기술, 접합 (bonding) 기술, 패키징 (packaging) 기술, 3차원 형상의 제작 기술, 실리콘(silicon)이나 유리(glass)가 아닌 다른 재료를 이용한 미세 가공 기술 등의 개발을 중심으로 이루어지고 있다.(중략)

Keywords

References

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