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공기청정기술
(Air Cleaning Technology)
제12권1호통권44호
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Pages.40-54
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1999
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1598-3994(pISSN)
한국공기청정협회 (Korean Air Cleaning Association)
반도체 정밀 생산기기 방
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제진을 위한 미진동 Design Guide Line 해석
이호범
(㈜Three TECH)
발행 : 1999.03.30
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