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공기청정기술
(Air Cleaning Technology)
제12권1호통권44호
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Pages.28-39
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1999
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1598-3994(pISSN)
한국공기청정협회 (Korean Air Cleaning Association)
GIGA급 반도체 클린룸내 입자관리
배귀남
(한국과학기술연구원 지구환경연구센터)
발행 : 1999.03.30
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