한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)

  • 제6권3호
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  • Pages.239-244
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  • 1995
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  • 1225-6285(pISSN)
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  • 2287-321X(eISSN)
한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

내부 전반사 홀로그램을 이용한 미세 패턴의 결상

Lensless Imaging of Fine Patterns by TIR Holography

  • 발행 : 1995.09.01
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초록

내부 전반사 홀로그램을 이용하여 마스크의 미세 패턴을 기록, 재생 결상하였다. 직각 프리즘과 쐐기 살 다발 가르개, 반사경을 이용하여 광학계를 구성하였으며 TIR 홀로그램의 특성을 조사하였다. 본 실험에서는 5mW의 출력과 633nm의 파장을 가진 He-Ne 레이저를 이용하여 Agfa 8E75 홀로그램 건판에 TIR 홀로그램을 기록하고 기준파의 복소 공액파인 재생파로써 홀로그램을 재생하였다. 홀로그램 건판과 마스크와의 간격을 $200\mu$m로 유지했을 때 약 $3\mu$m의 분해능을 가진 재생상을 얻었으며 $70\mu$W의 기록 광으로써 홀로그램을 기록하여 0.45%의 에돌이 효율을 얻었다. 본 실험을 통하여 렌즈를 쓰지 않는 TIR 홀로그래피의 평판 표시 소자 리소그라피 기술에 응용 가능성을 알아 보았다.

키워드

참고문헌

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