The Effect of Additional Elements X on Magnetic Properties of CoCrTa/Cr-X Thin Film

CoCrTa/Cr-X 자성박막의 자기적성질에 미치는 첨가원소 X의 영향

  • 김준학 (강원대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 박정용 (강원대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 남인탁 (강원대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 홍양기 (동양화학공업㈜ 중앙연구소)
  • Published : 1993.12.01

Abstract

The Effects of additional element X (X = Si, Mo, Cu, Gd) on magnetic properties and microstructure of Co-1Zat%Cr-Zat%Ta/Cr-X magnetic thin film were investigated. The thickness changes of Cr-X underlayer and CoCrTa magnetic layer were in the range of $1000~2000\AA$ and $200~800\AA$. respectively. Substrate temperatures were controlled from $100^{\circ}C$ to $200^{\circ}C$. Increase of coercivity by about 100~200 Oe was observed in CoCrTa/Cr-X thin films compared to those without additional X element. Cu was the most effective additional element for increasing coercivity. CoCrTa/Cr-Cu thin film shows relatively high coercivity in $1500\AA$ underlayer thickness and $600\AA$ magnetic layer thickness.

Co-12at%Cr-2at%Ta/Cr-X 자성박막의 자기적성질과 미세구조에 미치는 첨가원소 X(X=Si, Mo, Cu, Gd)의 영향에 대해 조사하였다. Cr-X 하지층 및 CoCrTa 자성층의 두께는 각각 $1000~2000\AA$$200~800\AA$이었으며, 기판온도는 $100~200^{\circ}C$로 변화시켰다. Cr-X 하지층은 순수한 Cr 하지층에 비하여 보자력이 100 Oe~200 Oe 이상 증가하였다. Cu는 Gd, Mo, Si보다 높은 보자력 을 나타내는 Cr-X 하지층의 첨가원소 였으며 CoCrTa/Cr-Cu 자성박막은 하지층두께 $1500\AA$과 자성층두께 $600\AA$에서 높은 보자력을 나타내었다.

Keywords