Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Characteristic Analysis of Monolithic 3D Inverter Considering Interface Charge

계면 포획 전하를 고려한 3차원 인버터의 특성 분석

  • Ahn, Tae-Jun (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Choi, Bum Ho (Group for Nano-Photonics Convergence Technology, Korea Institute of Industrial Technology) ;
  • Yu, Yun Seop (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University)
  • 안태준 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 최범호 (한국생산기술연구원) ;
  • 유윤섭 (한경대학교 전기전자제어공학과)
  • Published : 2018.10.18
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Abstract

We have investigated the effect of interface trap charge on the characteristics of a monolithic 3D inverter by TCAD simulation. The interface trap charge affects the variation of the threshold voltage and threshold voltage. also The interface trap charge affects the IN/OUT characteristics of the monolithic 3D inverter.

이 논문은 모놀리식 3차원 공정 시 열에 의해 생성될 수 있는 계면 포획 전하가 3차원 인버터의 특성에 미치는 영향에 대하여 TCAD 시뮬레이션을 통해 확인하였다. 계면 포획 전하는 문턱 전압 및 ILD 두께에 따른 문턱 전압의 변화량에도 영향을 주었고 3차원 인버터의 입출력 특성에도 영향을 주는 것을 확인하였다.

Keywords