Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2014.11a
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- Pages.198-198
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- 2014
The Characteristics of Internal Linear Pulsed Inductively Coupled Plasma
내부 선형 펄스 유도 결합 플라즈마의 특징
- Lee, C.H. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, K.N. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
- Kim, T.H. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
- Lee, S.M. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
- Bae, J.W. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University) ;
- Yeom, G.Y. (Dept. of Advanced Materials, Sungkyunkwan University)
- Published : 2014.11.20
Abstract
Plasma를 이용하는 대면적 디스플레이 공정에서 균일도는 매우 중요한 요소 중 하나이다. 이를 향상시키기 위하여 본 연구에서는 pulsed plasma를 이용하여 duty ratio를 조절함으로써 균일도를 향상시켰으며, plasma on/off time을 이용하여 electron temperature를 낮추어 plasma에 의한 damage를 감소시키려 하였다. 또한 optical emission spectroscopy(OES)를 이용하여 pulse condition에따라 변하는 ion species peak을 실시간으로 확인하였다.
Keywords