Far Field type 메가소닉 해석

Analysis of Far Field type Megasonic using FEM

  • 이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)
  • 발행 : 2013.05.29