Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.743-744
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
Design of fine stage for semi-conductor dual servo stage
반도체용 이중서보 스테이지를 위한 미세스테이지 설계
- Published : 2013.05.29