Design of fine stage for semi-conductor dual servo stage

반도체용 이중서보 스테이지를 위한 미세스테이지 설계

  • 정재헌 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 우시웅 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김명현 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2013.05.29