Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.741-742
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Dynamics and Control Simulation for Development of High Precision Stage

초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션

정완희 (순환엔지니어링) ;
권용욱 (순환엔지니어링) ;
서종규 (순환엔지니어링) ;
신수근 (순환엔지니어링)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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